[实用新型]一种用于硅片倒角机自动收料装置有效

专利信息
申请号: 201720532331.9 申请日: 2017-05-15
公开(公告)号: CN206915156U 公开(公告)日: 2018-01-23
发明(设计)人: 雷海云;郭红慧;刘建伟;王帅;杨金坡;刘振福;谭永磷;吕莹 申请(专利权)人: 天津市环欧半导体材料技术有限公司
主分类号: B65G15/00 分类号: B65G15/00;B65G47/248
代理公司: 天津中环专利商标代理有限公司12105 代理人: 胡京生
地址: 300384 天津市滨海*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型涉及一种用于硅片倒角机自动收料装置,包括收料机固定架、片篮、片篮升降架、伺服升降机构、硅片自动翻版机构及传送带,收料机固定架、伺服升降机构、片篮升降架连接为可使片篮升降架上下运动,片篮置于片篮升降架上,使片篮、硅片自动翻版机构及传送带置于一条中心线上,硅片自动翻版机构取放硅片于传送带上和沥水,传送带带动硅片运动至片篮内,技术效果是,实现了国产倒角设备自动收料插篮功能,可实现片篮传递,避免后续清洗工序重复插篮。
搜索关键词: 一种 用于 硅片 倒角 自动 装置
【主权项】:
一种用于硅片倒角机自动收料装置,包括收料机固定架(1)、片篮(2)、片篮升降架(3)、伺服升降机构(4)、硅片自动翻版机构(5)及传送带(6),其特征在于:所述的片篮升降架(3)为有数个上下排列隔板(3‑1)的框架,隔板(3‑1)上表面两侧有不同尺寸的卡槽可以固定不同尺寸的片篮(2),所述的伺服升降机构(4)包括伺服电机(4‑1)、丝杠(4‑2)及丝母(4‑3),伺服电机(4‑1)带动丝杠(4‑2)转动,丝母(4‑3)在丝杠(4‑2)上上下运动,所述的硅片自动翻版机构(5)包括槽箱(5‑1)、翻版(5‑2)、传感器(5‑3),翻版(5‑2)上端有接片盒,内侧面有凹槽,凹槽内可使硅片自由出入,翻版(5‑2)固定于无上面的槽箱(5‑1)内,在硅片倒角机的取片器气动装置的驱动下可同步正反90°+90°翻转,传感器(5‑3)固定于槽箱(5‑1)一侧,所述的传送带(6),分为左传送带(6‑1)、右传送带(6‑2),分别从左、右伸入并固定于硅片自动翻版机构(5)的槽箱(5‑1)上,使左传送带(6‑1)的后端、右传送带(6‑2)的前端分别位于翻版(5‑2)的两侧、与翻版(5‑2)在同一条中心线上,片篮升降架(3)固定于伺服升降机构(4)的丝母(4‑3)上,数个片篮(2)依次置于片篮升降架(3)的隔板(3‑1)上,硅片自动翻版机构(5)固定于国产D37‑378/YL型倒角机硅片取片器一侧,使固定于硅片自动翻版机构(5)的左传送带(6‑1)前端置于硅片取片器的正下方,伺服升降机构(4)固定于国产D37‑378/YL型倒角机上,使固定在其上的片篮升降架(3)内的片篮(2)与右传送带(6‑2)后端对接。
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