[实用新型]一种具有锲形形状薄膜的薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 201720489221.9 | 申请日： | 2017-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN207184430U | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 王国浩;张树民;陈海龙;汪泉 | 申请（专利权）人： | 王国浩 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10;H03H9/54 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 200441 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种具有锲形形状薄膜的薄膜体声波谐振器。该薄膜体声波谐振器包括带有空腔的衬底，形成在所述空腔上方的压电堆叠结构；所述压电堆叠结构包括堆叠的底电极、压电材料、顶电极，其中所述底电极具有锲形的边缘结构。本实用新型通过对一般常用的图形化方法进行修正，能够制备得到边缘为锲形形状的薄膜，其锲形角度可在0‑90度范围内灵活调整。在具有较小锲形角度的薄膜上淀积新的薄膜材料，制备包括锲形结构的压电堆叠结构。新的薄膜材料将不会出现裂纹等情况，大大提高了器件的性能及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 形状 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
一种具有锲形形状薄膜的薄膜体声波谐振器，其特征在于：包括带有空腔的衬底，形成在所述空腔上方的压电堆叠结构；所述压电堆叠结构包括堆叠的底电极、压电材料、顶电极，其中所述底电极具有锲形的边缘结构。
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