[实用新型]冲洗喷出装置和湿法刻蚀设备有效
| 申请号： | 201720370844.4 | 申请日： | 2017-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN206652764U | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 邓治国;王振;魏悦;任志明;王成龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种冲洗喷出装置和湿法刻蚀设备，用以简化结构，可以提高作业效率。本实用新型提供了一种冲洗喷出装置包括内部中空的第一本体，第一本体上设有一个第一通槽；外套于第一本体外的第二本体，第二本体上设有至少两个可将第一本体的内部和第二本体的内部连通的第二通槽，第二本体可相对第一本体转动以使第一通槽与一第二通槽连通；与第一本体的内部连通、为第一本体的内部提供液体或气体的供给管路。 | ||
| 搜索关键词： | 冲洗 喷出 装置 湿法 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
一种冲洗喷出装置，其特征在于，包括：内部中空的第一本体，所述第一本体上设有一个第一通槽；外套于所述第一本体外的第二本体，所述第二本体上设有至少两个可将所述第一本体的内部和所述第二本体的内部连通的第二通槽，所述第二本体可相对所述第一本体转动以使所述第一通槽与一所述第二通槽连通；与所述第一本体的内部连通、为所述第一本体的内部提供液体或气体的供给管路。
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