[实用新型]一种半导体设备的系统安装辅助工具有效
| 申请号： | 201720324799.9 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN207049542U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 杨秋旻;李弋洋;张杨;曾一平 | 申请（专利权）人： | 中科芯电半导体科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/06 | 分类号： | F16M11/06;F16M11/20 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)11357 | 代理人： | 张素红 |
| 地址： | 100076 北京市大兴区西红*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备的系统安装辅助工具，用于分子束外延设备的源炉安装，其特征在于该安装辅助工具包括设备支撑底座，该底座包括基础底座、底座万向移动装置和垂直于地面的升降平台；角度调整机构，该角度调整机构包括三角形支架和角度调整轴，该三角形支架安装在设备支撑底座上，在三角形支架的顶端固定有角度调整轴，该角度调整轴可以调节源炉的俯仰角并具有第一锁紧装置，该第一锁紧装置可以在任意位置对源炉进行角度锁紧；源炉固定装置，包括源炉固定托架，该托架可拆卸地与角度调整轴安装在一起，用于承载源炉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 系统 安装 辅助工具 | ||
【主权项】：
一种半导体设备的系统安装辅助工具，用于分子束外延设备的源炉安装，其特征在于该安装辅助工具包括:设备支撑底座，该底座包括基础底座、底座万向移动装置和垂直于地面的升降平台；角度调整机构，该角度调整机构包括三角形支架和角度调整轴，该三角形支架安装在设备支撑底座上，在三角形支架的顶端固定有角度调整轴，该角度调整轴可以调节源炉的俯仰角并具有第一锁紧装置，该第一锁紧装置可以在任意位置对源炉进行角度锁紧；源炉固定装置，包括源炉固定托架，该托架可拆卸地与角度调整轴安装在一起，用于承载源炉。
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