[实用新型]一种纳米金属薄膜制备箱有效
| 申请号： | 201720321909.6 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN206607307U | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 张忠帆 | 申请（专利权）人： | 张忠帆 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450007 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米金属薄膜制备箱，包括纳米金属薄膜制备箱主体，所述纳米金属薄膜制备箱主体内设有电离室、制备室和冷却室，所述电离室、所述制备室和所述冷却室在所述纳米金属薄膜制备箱主体内从上到下依次设置，所述电离室内设有阳极壁，所述阳极壁内设有阴极板，所述电离室底部对应所述阴极板的位置上设有喷射口，所述喷射口贯穿所述阳极壁，所述纳米金属薄膜制备箱主体外侧顶部对应所述阳极壁和所述阴极板之间的位置上设有进气口，所述纳米金属薄膜制备箱主体外侧对应所述冷却室的位置上设有进液口和出液口。本实用新型通过采用喷射法来制备纳米金属薄膜，使沉积速度更快，能够适用于复杂的表面，同时可以使用各种基片材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 金属 薄膜 制备 | ||
【主权项】：
一种纳米金属薄膜制备箱，包括纳米金属薄膜制备箱主体(1)，其特征在于：所述纳米金属薄膜制备箱主体(1)内设有电离室(2)、制备室(3)和冷却室(4)，所述电离室(2)、所述制备室(3)和所述冷却室(4)在所述纳米金属薄膜制备箱主体(1)内从上到下依次设置，所述电离室(2)内设有阳极壁(5)，所述阳极壁(5)内设有阴极板(6)，所述电离室(2)底部对应所述阴极板(6)的位置上设有喷射口(7)，所述喷射口(7)贯穿所述阳极壁(5)，所述纳米金属薄膜制备箱主体(1)外侧顶部对应所述阳极壁(5)和所述阴极板(6)之间的位置上设有进气口(8)，所述纳米金属薄膜制备箱主体(1)外侧对应所述冷却室(4)的位置上设有进液口(9)和出液口(10)，所述冷却室(4)内部设有冷却管道(11)，所述冷却管道(11)的两端分别与所述进液口(9)和所述出液口(10)连接。
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