[实用新型]一种用于晶片氧化的石英舟有效
| 申请号： | 201720310573.3 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN206628450U | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 魏兴政;李浩 | 申请（专利权）人： | 济南兰星电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C30B33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250200 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体器件制造领域，尤其涉及一种用于晶片氧化的石英舟，包括舟底架，所述舟底架包括支撑架以及设置在支撑架一端的三角挂钩，所述支撑架上均匀设置有分档杆组件，所述支撑架包括两个平行设置的承载杆，所述分档杆组件包括设置在两承载杆之间的连接杆、设置在承载杆上部的支撑杆以及设置在支撑杆顶部的分档杆。本实用新型中承载杆上是没有设置在容纳晶片的容纳槽的，在加上分档杆的设置，大大提高了生产效率和产量，降低了成本，相应的提高了成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶片 氧化 石英 | ||
【主权项】：
一种用于晶片氧化的石英舟，其特征在于：包括舟底架，所述舟底架包括支撑架以及设置在支撑架一端的三角挂钩，所述支撑架上均匀设置有分档杆组件，所述支撑架包括两个平行设置的承载杆，所述分档杆组件包括设置在两承载杆之间的连接杆、设置在承载杆上部的支撑杆以及设置在支撑杆顶部的分档杆。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
