[实用新型]玻璃基板表面粉尘检测系统有效
| 申请号： | 201720284600.4 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN206832699U | 公开（公告）日： | 2018-01-02 |
| 发明（设计）人： | 王步洲;李志军;史伟华;胡恒广;常慧;刘奎宁;姚小阔 | 申请（专利权）人： | 东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人： | 辛自强,陈庆超 |
| 地址： | 100070 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种玻璃基板表面粉尘检测系统，玻璃基板(5)沿传送装置以竖直状态沿水平方向进行传送，该系统包括检测装置(3)，所述检测装置(3)为照射方向与所述玻璃基板(5)表面相平行的光源，以用于检测所述玻璃基板(5)表面的粉尘，第一驱动装置(1)，所述检测装置(3)安装于所述第一驱动装置(1)上，所述第一驱动装置(1)用于驱动所述检测装置(3)沿所述第一驱动装置(1)的旋转轴周向旋转，所述旋转轴垂直于所述玻璃基板设置。通过上述技术方案，该检测系统能够全方位地检测玻璃基板表面是否粘附有粉尘，并能够直接清晰地观察到玻璃基板表面粉尘的粘附情况，为处理玻璃基板表面的粉尘提供指导，保证玻璃基板的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 表面 粉尘 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板表面粉尘检测系统，玻璃基板(5)沿传送装置以竖直状态沿水平方向进行传送，其特征在于，该系统包括检测装置(3)，所述检测装置(3)为照射方向与所述玻璃基板(5)表面相平行的光源，以用于检测所述玻璃基板(5)表面的粉尘，第一驱动装置(1)，所述检测装置(3)安装于所述第一驱动装置(1)上，所述第一驱动装置(1)用于驱动所述检测装置(3)沿垂直于所述玻璃基板(5)的轴线周向旋转。
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