[实用新型]玻璃基板表面粉尘检测系统有效
| 申请号: | 201720284600.4 | 申请日: | 2017-03-22 |
| 公开(公告)号: | CN206832699U | 公开(公告)日: | 2018-01-02 |
| 发明(设计)人: | 王步洲;李志军;史伟华;胡恒广;常慧;刘奎宁;姚小阔 | 申请(专利权)人: | 东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94 |
| 代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人: | 辛自强,陈庆超 |
| 地址: | 100070 北京市丰台区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 玻璃 表面 粉尘 检测 系统 | ||
1.一种玻璃基板表面粉尘检测系统,玻璃基板(5)沿传送装置以竖直状态沿水平方向进行传送,其特征在于,该系统包括
检测装置(3),所述检测装置(3)为照射方向与所述玻璃基板(5)表面相平行的光源,以用于检测所述玻璃基板(5)表面的粉尘,
第一驱动装置(1),所述检测装置(3)安装于所述第一驱动装置(1)上,所述第一驱动装置(1)用于驱动所述检测装置(3)沿垂直于所述玻璃基板(5)的轴线周向旋转。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板表面粉尘检测系统,其特征在于,还包括用于安装所述第一驱动装置(1)的支架以及可滑动地安装该支架的滑轨,所述滑轨沿所述玻璃基板(5)传送方向布置,所述检测系统还包括用于驱动所述支架沿所述滑轨往复移动的第二驱动装置(2)。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板表面粉尘检测系统,其特征在于,还包括控制台(4),所述控制台(4)上具有用于控制所述第一驱动装置(1)和所述第二驱动装置(2)的控制装置。
4.根据权利要求1所述的玻璃基板表面粉尘检测系统,其特征在于,所述第一驱动装置(1)为伺服电机。
5.根据权利要求2所述的玻璃基板表面粉尘检测系统,其特征在于,所述第二驱动装置(2)为直线电机,所述滑轨为所述直线电机的滑轨。
6.根据权利要求3所述的玻璃基板表面粉尘检测系统,其特征在于,所述控制装置为控制手柄,并且所述控制台上设置有用于显示所述检测装置(3)当前位置和角度的显示屏。
7.根据权利要求2或5所述的玻璃基板表面粉尘检测系统,其特征在于,所述支架形成为T型板,该T型板包括水平板(61)和用于安装所述第一驱动装置(1)的竖直板(62),所述水平板(61)位于所述竖直板(62)的下端且安装于所述滑轨上。
8.根据权利要求7所述的玻璃基板表面粉尘检测系统,其特征在于,所述竖直板(62)上形成有用于所述第一驱动装置(1)的旋转轴穿过的通孔,所述旋转轴上安装有用于固定所述检测装置(3)的夹持装置。
9.根据权利要求1所述的玻璃基板表面粉尘检测系统,其特征在于,所述传送装置具有夹持所述玻璃基板(5)上边缘的夹具。
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