[实用新型]气浮基台有效
| 申请号： | 201720244863.2 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN206580740U | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 肖昂;张杨扬 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C03C17/27 | 分类号： | C03C17/27 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 柴亮,张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气浮基台，属于气浮基台技术领域。本实用新型的气浮基台包括基台主体、第一真空管道、第一压力管道、第一吹气装置、第一抽气装置、第二真空管道、第二压力管道、第二吹气装置、第二抽气装置；第一压力管道与基台主体中的压力管道气路连接；第一真空管道与基台主体中的真空管道连接；其特征在于，第二压力管道与基台主体中的压力管道连接；第二抽气装置与基台主体中的真空管道气路连接；第一压力管道和第二压力管道中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件；第一真空管道和第二真空管道中的至少一者的内部设置有第二压力检测器件；第二吹气装置的功率大于第一吹气装置的功率；第二抽气装置的功率大于第一抽气装置的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮基台 | ||
【主权项】：
一种气浮基台，包括基台主体、第一真空管道、第一压力管道、第一吹气装置、第一抽气装置；其中，所述第一吹气装置通过所述第一压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第一抽气装置通过所述第一真空管道与所述基台主体中的真空管道气路连接；其特征在于，所述气浮基台还包括第二真空管道、第二压力管道、第二吹气装置、第二抽气装置；其中，所述第二吹气装置通过所述第二压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第二抽气装置通过所述第二抽气装置与所述基台主体中的真空管道气路连接；所述第一压力管道和所述第二压力管道中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件；所述第一真空管道和所述第二真空管道中的至少一者的内部设置有第二压力检测器件；所述第二吹气装置的功率大于所述第一吹气装置的功率；所述第二抽气装置的功率大于所述第一抽气装置的功率。
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