[实用新型]气浮基台

说明书

技术领域

本实用新型属于气浮基台技术领域，具体涉及一种气浮基台。

背景技术

在进行FTE封装过程中，为了防止因基台表面不平整，在进行有机层涂布之后出现Mura不良，因此采用气浮基台(Floating Glass Stage)来对玻璃进行承接与控制，最大限度保证在进行工艺过程中1玻璃表面的平坦度满足要求。

结合图1和2所示，在气浮基台表面有很多小的气孔，这些气孔按照要求与下方的基台主体10中的真空管道12或是压力管道11相连接，使得基板在进行工艺时能够稳定地悬浮在基台表面。在进行工艺过程中，若是有机涂层溶液滴落到基台表面，会被与连接真空管道12的小孔吸入到真空管道中，同时也可能会堵塞连接压力管道11的小孔，因此可能会出现以下问题：当气浮基台表面的小孔被堵塞，会使正在进行工艺的玻璃基板受力不平衡，无法保证其表面的平坦度，在完成工艺之后容易出现Mura不良；若是有机溶液被连接真空管道12的小孔吸入到抽气装置内部，会对装置内部管路造成腐蚀，引起设备故障。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种气浮基台，用以解决现有技术中气浮基台被有机溶液堵塞后影响工艺的问题和有机溶液进入设备内部后对设备的影响问题，以及现有技术判断气孔堵塞效率低下的问题。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是一种气浮基台，包括基台主体、第一真空管道、第一压力管道、第一吹气装置、第一抽气装置；其中，所述第一吹气装置通过所述第一压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第一抽气装置通过所述第一真空管道与所述基台主体中的真空管道气路连接；所述气浮基台还包括第二真空管道、第二压力管道、第二吹气装置、第二抽气装置；其中，

所述第二吹气装置通过所述第二压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第二抽气装置通过所述第二抽气装置与所述基台主体中的真空管道气路连接；

所述第一压力管道和所述第二压力管道中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件；

所述第一真空管道和所述第二真空管道中的至少一者的内部设置有第二压力检测器件；

所述第二吹气装置的功率大于所述第一吹气装置的功率；所述第二抽气装置的功率大于所述第一抽气装置的功率。

优选的是，所述气浮基台还包括第一连接件、第二连接件、第一控制阀和第二控制阀；其中，

所述第一连接件的第一端与所述基台主体中的压力管道气路连接，第二端与所述第一控制阀的第三端连接；所述第一控制阀的第一端连接所述第一压力管道，第二端连接所述第二压力管道；

所述第二连接件的第一端与所述基台主体中的真空管道气路连接，第二端与所述第二控制阀的第三端连接；所述第二控制阀的第一端连接所述第一真空管道，第二端连接所述第二真空管道。

进一步优选的是，所述第一控制阀和第二控制阀均为三通电磁阀。

进一步优选的是，所述气浮基台还包括基台管路连接单元，其中，

所述基台管路连接单元一端与所述第一连接件和所述第二连接件连接，另一端气路连接所述基台主体中的压力管道和真空管道，所述基台管路连接单元用于将所述第一连接件与所述压力管道气路连接，以及将所述第二连接件与所述真空管道气路连接。

优选的是，所述气浮基台还包括用于阻挡液体的第一阻隔物和第二阻隔物，其中，

所述第一阻隔物设置在所述第一真空管道中；

所述第二阻隔物设置在所述第二真空管道中。

进一步优选的是，所述气浮基台还包括水槽；其中，

所述水槽设置在第二真空管道中，所述第二阻隔物设置在所述水槽与所述第二抽气装置之间。

优选的是，所述第一压力检测器件设置在所述第二压力管道中。

优选的是，所述第二压力检测器件设置在所述第二真空管道中。

优选的是，所述第一吹气装置和所述第二吹气装置均包括压力气体源。

优选的是，所述第一抽气装置和所述第二抽气装置均包括真空泵。

本实用新型具有如下有益效果：