[实用新型]气浮基台

权利要求书

1.一种气浮基台，包括基台主体、第一真空管道、第一压力管道、第一吹气装置、第一抽气装置；其中，所述第一吹气装置通过所述第一压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第一抽气装置通过所述第一真空管道与所述基台主体中的真空管道气路连接；其特征在于，所述气浮基台还包括第二真空管道、第二压力管道、第二吹气装置、第二抽气装置；其中，

所述第二吹气装置通过所述第二压力管道与所述基台主体中的压力管道气路连接；所述第二抽气装置通过所述第二抽气装置与所述基台主体中的真空管道气路连接；

所述第一压力管道和所述第二压力管道中的至少一者的内部设置有第一压力检测器件；

所述第一真空管道和所述第二真空管道中的至少一者的内部设置有第二压力检测器件；

所述第二吹气装置的功率大于所述第一吹气装置的功率；所述第二抽气装置的功率大于所述第一抽气装置的功率。

2.根据权利要求1所述的气浮基台，其特征在于，还包括第一连接件、第二连接件、第一控制阀和第二控制阀；其中，

所述第一连接件的第一端与所述基台主体中的压力管道气路连接，第二端与所述第一控制阀的第三端连接；所述第一控制阀的第一端连接所述第一压力管道，第二端连接所述第二压力管道；

所述第二连接件的第一端与所述基台主体中的真空管道气路连接，第二端与所述第二控制阀的第三端连接；所述第二控制阀的第一端连接所述第一真空管道，第二端连接所述第二真空管道。

3.根据权利要求2所述的气浮基台，其特征在于，所述第一控制阀和第二控制阀均为三通电磁阀。

4.根据权利要求2所述的气浮基台，其特征在于，还包括基台管路连接单元，其中，

所述基台管路连接单元一端与所述第一连接件和所述第二连接件连接，另一端气路连接所述基台主体中的压力管道和真空管道，所述基台管路连接单元用于将所述第一连接件与所述压力管道气路连接，以及将所述第二连接件与所述真空管道气路连接。

5.根据权利要求1所述的气浮基台，其特征在于，还包括用于阻挡液体的第一阻隔物和第二阻隔物，其中，

所述第一阻隔物设置在所述第一真空管道中；

所述第二阻隔物设置在所述第二真空管道中。

6.根据权利要求5所述的气浮基台，其特征在于，还包括水槽；其中，

所述水槽设置在第二真空管道中，所述第二阻隔物设置在所述水槽与所述第二抽气装置之间。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的气浮基台，其特征在于，所述第一压力检测器件设置在所述第二压力管道中。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的气浮基台，其特征在于，所述第二压力检测器件设置在所述第二真空管道中。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的气浮基台，其特征在于，所述第一吹气装置和所述第二吹气装置均包括压力气体源。

10.根据权利要求1-6中任一项所述的气浮基台，其特征在于，所述第一抽气装置和所述第二抽气装置均包括真空泵。