[实用新型]一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘

摘要

本实用新型涉及一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，属于非球面镜抛光设备技术领域，包括底座、位于底座上的多个压电陶瓷驱动器和位于压电陶瓷驱动器上方的基盘，还包括多个弹性片，所述弹性片沿其径向安装于底座上表面，且其与压电陶瓷驱动器一对一设置，所述压电陶瓷驱动器沿其轴向安装于底座上表面，且其一端指向底座中心，所述弹性片与压电陶瓷驱动器指向底座中心的一端相抵，压电陶瓷驱动器对弹性片施加挤压力后，弹性片会产生沿其轴向的伸缩量，以改变基盘的面形，本实用新型增加了抛光盘的径厚比，结构紧凑，显著提高抛光盘在自转时的稳定性以及与工件的吻合性，成本低，有助于延长压电陶瓷驱动器的使用寿命。

主权项

一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，包括底座、位于底座上的多个压电陶瓷驱动器和位于压电陶瓷驱动器上方的基盘，其特征在于：还包括多个弹性片，所述弹性片沿其径向安装于底座上表面，且其与压电陶瓷驱动器一对一设置，所述弹性片的顶部与基盘下表面相抵；所述压电陶瓷驱动器沿其轴向安装于底座上表面，且其一端指向底座中心，另一端处设有顶紧件，所述弹性片与压电陶瓷驱动器指向底座中心的一端相抵，压电陶瓷驱动器对弹性片施加挤压力后，弹性片会产生沿其轴向的伸缩量，以改变基盘的面形；所述底座下表面设有导电滑环，所述压电陶瓷驱动器通过导电滑环与电压源连接。