[实用新型]一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘

权利要求书

1.一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，包括底座、位于底座上的多个压电陶瓷驱动器和位于压电陶瓷驱动器上方的基盘，其特征在于：

还包括多个弹性片，所述弹性片沿其径向安装于底座上表面，且其与压电陶瓷驱动器一对一设置，所述弹性片的顶部与基盘下表面相抵；

所述压电陶瓷驱动器沿其轴向安装于底座上表面，且其一端指向底座中心，另一端处设有顶紧件，所述弹性片与压电陶瓷驱动器指向底座中心的一端相抵，压电陶瓷驱动器对弹性片施加挤压力后，弹性片会产生沿其轴向的伸缩量，以改变基盘的面形；

所述底座下表面设有导电滑环，所述压电陶瓷驱动器通过导电滑环与电压源连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：所述基盘为铝制球面薄板。

3.根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：压电陶瓷驱动器上加载的电压为Umax/2时，基盘产生的面形定义为初始面形；压电陶瓷驱动器上加载的电压为0～Umax/2时，基盘产生负向形变；压电陶瓷驱动器上加载的电压为Umax/2～Umax时，基盘产生正向形变。

4.根据权利要求3所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器的最小伸缩量为纳米级。

5.根据权利要求3所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器加载电压后，其沿轴向产生的伸缩量为Δs，所述弹性片沿其径向产生的伸缩量为Δx，所述弹性片沿其轴向产生的伸缩量为Δy，且Δs＝Δx，Δy＝n×Δx，其中，n表示由径向转移到轴向位移的放大量。

6.根据权利要求1所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：在基盘面积不变的前提下，增加所述压电陶瓷驱动器的个数，提高基盘的面形精度。

7.根据权利要求6所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：所述底座和基盘之间设有固定盘，所述固定盘内开设长条槽，所述压电陶瓷驱动器、弹性片均位于长条槽内，所述顶紧件位于固定盘的边缘处，并与压电陶瓷驱动器的端部相抵。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器上方设有支撑盘，所述支撑盘内开设凹槽，所述基盘位于凹槽内，且基盘上表面高于支撑盘上表面，所述凹槽内对应弹性片处设有凸起，且凸起与弹性片的个数相等，所述凸起的顶部与基盘的下表面相抵，所述弹性片的顶部与支撑盘的下表面相抵。

9.根据权利要求8所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：所述压电陶瓷驱动器呈对称式安装于底座上表面。

10.根据权利要求8所述的一种基于压电陶瓷驱动器的变形抛光盘，其特征在于：所述支撑盘为铝制结构或者钢制结构。