[实用新型]一种磁控多弧靶有效
| 申请号： | 201720232228.2 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN206666635U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 刘广杰 | 申请（专利权）人： | 河源圣飞斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 罗晓林,杨桂洋 |
| 地址： | 517500 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种磁控多弧靶，包括圆柱管靶材，其特征在于，所述圆柱靶材内设有磁铁极靴和进水管，该进水管延伸至圆柱管靶材外，磁铁极靴固定套装在进水管上，磁铁极靴上安装有磁铁组，该磁铁组由四个磁铁构成，该四个磁铁分别安装在磁铁极靴的四个侧面，磁铁组中的四个磁铁呈十字形交叉分布，相邻两个磁铁的极性相异，磁铁组至少设置三组，并且各组呈上下设置。本实用新型通过磁铁的排列分布，形成网格状的弧斑线，轰击电流均匀分布，消除了飞弧烧损工件的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控多弧靶 | ||
【主权项】：
一种磁控多弧靶，包括圆柱管靶材，其特征在于，所述圆柱靶材内设有磁铁极靴和进水管，该进水管延伸至圆柱管靶材外，磁铁极靴固定套装在进水管上，磁铁极靴上安装有磁铁组，该磁铁组由四个磁铁构成，该四个磁铁分别安装在磁铁极靴的四个侧面，磁铁组中的四个磁铁呈十字形交叉分布，相邻两个磁铁的极性相异。
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