[实用新型]一种磁控多弧靶

权利要求书

1.一种磁控多弧靶，包括圆柱管靶材，其特征在于，所述圆柱靶材内设有磁铁极靴和进水管，该进水管延伸至圆柱管靶材外，磁铁极靴固定套装在进水管上，磁铁极靴上安装有磁铁组，该磁铁组由四个磁铁构成，该四个磁铁分别安装在磁铁极靴的四个侧面，磁铁组中的四个磁铁呈十字形交叉分布，相邻两个磁铁的极性相异。

2.根据权利要求1所述的磁控多弧靶，其特征在于，所述磁铁组至少设置三组，并且各组呈上下设置。

3.根据权利要求2所述的磁控多弧靶，其特征在于，所述相邻的磁铁组中位于同一磁铁极靴侧面上的磁铁的极性相异。

4.根据权利要求3所述的磁控多弧靶，其特征在于，所述磁铁组共设置五组，由上往下依次为第一磁铁组、第二磁铁组、第三磁铁组、第四磁铁组和第五磁铁组，各磁铁组上下紧密接触连接。

5.根据权利要求4所述的磁控多弧靶，其特征在于，所述第一磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极，第二磁铁组中的四个磁铁的极性分别为N极、S极、N极和S极，第三磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极，第四磁铁组中的四个磁铁的极性分别为N极、S极、N极和S极，第五磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极。

6.根据权利要求5所述的磁控多弧靶，其特征在于，所述磁铁为铁淦氧磁铁。