[实用新型]一种磁控多弧靶

说明书

技术领域

本实用新型一种靶材，具体地说是一种磁控多弧靶。

背景技术

真空镀膜采用的多弧靶，通常为圆形小平面靶，焊接的工作面积较小。工作时，由于焊接的工作面积小，使得单位面积轰击电流较大，导致镀膜层的金属颗粒较为粗大，并且轰击电流不均匀，使得焊接效果较差。严重时会出现金属液滴，或者飞弧现象进而损坏工件。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供

为了解决上述技术问题，本实用新型采取以下技术方案：

一种磁控多弧靶，包括圆柱管靶材，所述圆柱靶材内设有磁铁极靴和进水管，该进水管延伸至圆柱管靶材外，磁铁极靴固定套装在进水管上，磁铁极靴上安装有磁铁组，该磁铁组由四个磁铁构成，该四个磁铁分别安装在磁铁极靴的四个侧面，磁铁组中的四个磁铁呈十字形交叉分布，相邻两个磁铁的极性相异。

所述磁铁组至少设置三组，并且各组呈上下设置。

所述相邻的磁铁组中位于同一磁铁极靴侧面上的磁铁的极性相异。

所述磁铁组共设置五组，由上往下依次为第一磁铁组、第二磁铁组、第三磁铁组、第四磁铁组和第五磁铁组，各磁铁组上下紧密接触连接。

所述第一磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极，第二磁铁组中的四个磁铁的极性分别为N极、S极、N极和S极，第三磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极，第四磁铁组中的四个磁铁的极性分别为N极、S极、N极和S极，第五磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极。

所述磁铁为铁淦氧磁铁。

本实用新型通过设置磁铁组中各磁铁的排列分布，使其呈十字形交叉排列分布，形成网格状的弧斑线，单位面积上弧斑线较长，使得单位面积上的轰击电流较小，使得镀膜层的金属颗粒细小且均匀，消除了飞弧烧损工件的现象。

附图说明

附图1为本实用新型磁铁组的排列分布示意图；

附图2为附图1的A-A向剖面示意图；

附图3为本实用新型产生的弧斑线的示意图。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员的理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。

如附图1-3所示，本实用新型揭示了一种磁控多弧靶，包括圆柱管靶材1，所述圆柱管靶材1内设有磁铁极靴2和进水管4，该进水管4延伸至圆柱管靶材1外，磁铁极靴2固定套装在进水管4上，磁铁极靴2上安装有磁铁组，该磁铁组由四个磁铁3构成，该四个磁铁分别安装在磁铁极靴的四个侧面，磁铁组中的四个磁铁呈十字形交叉分布，相邻两个磁铁的极性相异。磁铁优选为铁淦氧磁铁。

所述磁铁组至少设置三组，并且各组呈上下设置。

所述相邻的磁铁组中位于同一磁铁极靴侧面上的磁铁的极性相异。

所述磁铁组共设置五组，由上往下依次为第一磁铁组、第二磁铁组、第三磁铁组、第四磁铁组和第五磁铁组，各磁铁组上下紧密接触连接。第一磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极，第二磁铁组中的四个磁铁的极性分别为N极、S极、N极和S极，第三磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极，第四磁铁组中的四个磁铁的极性分别为N极、S极、N极和S极，第五磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极。

本实用新型中，由外部的驱动机构带动圆柱管靶材匀速转动，磁铁在圆柱靶管材内保持不动。冷却水经冷却水进管进入到圆柱靶管内，并且经换热后的冷却水从冷却水出口排出，形成循环。通过呈网格状的弧斑线焊接，使轰击电流均匀分布，保证镀膜层上的金属颗粒细小且均匀，不会出现飞弧烧损工件的现象。

需要说明的是，以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，但是凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。