[实用新型]一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机有效
申请号: | 201720204070.8 | 申请日: | 2017-03-03 |
公开(公告)号: | CN206599606U | 公开(公告)日: | 2017-10-31 |
发明(设计)人: | 刘双良;雷志钵 | 申请(专利权)人: | 华鑫纳米科技(东莞)有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤指一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机;所述的镀膜机主要包括真空镀膜机腔和安装在镀膜机腔内的镀膜治具和导轨,所述的镀膜治具安装在导轨上方;所述的镀膜治具主要包括六个治具分体,通过公转连接件与镀膜机腔的旋转件连接后安装在镀膜机腔内,治具分体包括旋转横杆和产品安装支架,旋转横杆一端贯穿公转连接件的通孔安装在公转连接件上,另外一端安装有滚轮,滚轮放置在圆周形导轨上表面;本实用新型结构简单,利用镀膜治具同时进行公转和自转的转动方式,使得待镀膜产品在镀膜机上实现多方位的旋转,让待镀膜产品表面积有效接触蒸发源所发出的材质,实现边缘五面的镀膜,并保证镀膜的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 实现 镀膜 蒸发 | ||
【主权项】:
一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,所述的镀膜机主要包括真空镀膜机腔和安装在镀膜机腔内的镀膜治具和导轨,所述的镀膜治具安装在导轨上方,其特征在于:所述的镀膜机腔横截面为椭圆形,顶部设置有旋转件;所述的导轨为圆周形导轨;所述的镀膜治具主要包括六个治具分体,通过公转连接件与镀膜机腔的旋转件连接后安装在镀膜机腔内,公转连接件为圆柱体状,上部与旋转件连接,下部外侧面开设有六个均布的通孔,六个治具分体分别安装在公转连接件的通孔上;治具分体包括旋转横杆和产品安装支架,旋转横杆一端贯穿公转连接件的通孔安装在公转连接件上,另外一端安装有滚轮,滚轮放置在圆周形导轨上表面。
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