[实用新型]一种X射线光谱检测装置

摘要

本实用新型提出一种X射线光谱检测装置，涉及光电检测仪技术领域，包括本体，包含底座；晶片框架可移动的设置于所示底座上，所述晶片框架上设有贯穿所示晶片框架的中空部；X射线装置一端通过光纤与所述发射臂上的发射头相接，而另一端与电源相接；接收装置一端为接收所述发射头射出X射线的接收器，所述接收器穿设在所述底座相对应于所述发射头的位置上，而所述接收装置的另一端与电脑主机相接。本实用新型的X射线光谱检测装置，可对较大尺寸的晶片进行检测，提高整个晶片检测结果的准确性，可以有效提供光谱检测装置的检测及使用范围。

主权项

一种X射线光谱检测装置，其特征在于，包括：本体，包含底座，所述底座的底面设有多个支撑脚，所述底座上设有结合柱，所示结合柱上设有悬于所示底座上方的发射臂，其中所述发射臂上设有于所示底座相对的发射头；晶片框架可移动的设置于所示底座上，所述晶片框架上设有贯穿所示晶片框架的中空部，所述中空部内面设有托片框，在所述中空部上还设置有多个与所述中空部连通的凹槽；X射线装置一端通过光纤与所述发射臂上的发射头相接，而另一端与电源相接；接收装置一端为接收所述发射头射出X射线的接收器，所述接收器穿设在所述底座相对应于所述发射头的位置上，而所述接收装置的另一端与电脑主机相接。