[实用新型]一种X射线光谱检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光电检测仪技术领域，尤其是一种X射线光谱检测装置。

背景技术

在光电产业中，晶片制作镀膜后，为了检测晶片镀膜的均匀度，通常会通过X射线光谱检测装置对镀膜晶片进行检测，而近年来由于科技进步，晶片的尺寸越做越大，然而一般用于检测晶片的光谱装置多为小型设备，受困于设备本身的大小，所以在检测前需要先将晶片切割为较小的样品，使样品的大小能放入设备中进行检测，所以现有设备只能检测较小尺寸的样品，使用不方便。并且检测到的小样品结构视为整个晶片的平均结构，存在一定的误差，无法准确判定产品的质量，增加生产时间，进而相对增加制造成本。

实用新型内容

本实用新型提供一种X射线光谱检测装置，可检测各种尺寸的晶片，提供装置的实用性。

本实用新型具体采用如下技术方案实现：

一种X射线光谱检测装置，包括：

本体，包含底座，所述底座的底面设有多个支撑脚，所示底座上设有结合柱，所示结合柱上设有悬于所示底座上方的发射臂，其中所述发射臂上设有于所示底座相对的发射头；

晶片框架可移动的设置于所示底座上，所述晶片框架上设有贯穿所示晶片框架的中空部，所述中空部内面设有托片框，在所述中空部上还设置有多个与所述中空部连通的凹槽；

X射线装置一端通过光纤与所述发射臂上的发射头相接，而另一端与电源相接；

接收装置一端为接收所述发射头射出X射线的接收器，所述接收器穿设在所述底座相对应于所述发射头的位置上，而所述接收装置的另一端与电脑主机相接。

作为优选，所述底座的另一端面还设有刻度尺。

作为优选，所述结合柱的顶端设有结合柱固定孔，所述发射臂上设有与所述结合柱固定孔相对应的发射臂固定孔，并设有穿过所述发射臂固定孔而与所述结合柱固定孔相结合的固定元件。

作为优选，所述固定元件为螺栓。

作为优选，所述中空部位于所述晶片框架的中心。

本实用新型提供的X射线光谱检测装置，其有益效果在于：可对较大尺寸的晶片进行检测，因此受检测的晶片不需再通过切割的程序，并不受限于现有光谱检测装置设备的大小，可直接对晶片进行检测，可提高整个晶片检测结果的准确性，加上可根据待检测的晶片尺寸更换与其相符的晶片框架，因此可针对不同的晶片的尺寸配合与其相符的晶片框架以进行检测，可以有效提供光谱检测装置的检测及使用范围。

附图说明

图1为本实用新型X射线光谱检测装置的立体图；

图2为本实用新型X射线光谱检测装置的立体分解图；

图3为本实用新型X射线光谱检测装置的使用状态图。

具体实施方式

为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图。这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理。配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点。图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。

现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。

如图1-3所示，本实施例提供的一种X射线光谱检测装置10，其中，

本体20包含方形底座21，底座21的四角下方设有支撑脚22，而经由支撑脚22的支撑，可使底座21距离底面或桌面间有一定的高度，其中各支撑脚22的高度相同，所以底座21水平地放置在地面或桌面上，而在底座21的一端面上设有刻度尺23，作为检测的参考点，而底座21顶面上位于设置刻度尺23的另一端设有方形的结合柱24，结合柱24的顶部端面上设有两结合柱固定孔241，而通过结合设置长条形的发射臂25，其中发射臂25的顶面一端设有X射线发射头251，而发射臂25的另一端设有两个发射臂固定孔252，其中，两个发射臂固定孔252与两个结合柱固定孔241相对应，通过两个固定元件26可将发射臂25于结合柱24相结合，并使发射臂25设置发射头251的一端悬接于底座21的上方，其中两个固定元件26伸于两个发射臂固定孔252而与两结合柱固定孔241相结合，固定元件26可为螺栓。