[实用新型]一种蒸镀设备和系统有效
| 申请号： | 201720176912.3 | 申请日： | 2017-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN206438174U | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 冯亚青;冯敏强;廖良生 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 邓超 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀设备和系统，涉及真空镀膜技术领域。其中，该蒸镀设备包括反光罩、加热丝和设备本体，设备本体包括底座和两端开口的中空加热室，所述加热室上开设有第一通孔。底座与加热室的一端连接，反光罩套设于加热室，第一通孔暴露于反光罩外，加热丝设置于所述加热室。本实用新型实施例通过对蒸镀设备的巧妙设计，能够有效提高热蒸发过程中的蒸镀效率，降低能源消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 系统 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括反光罩、加热丝和设备本体，所述设备本体包括底座和两端开口的中空加热室，所述加热室上开设有第一通孔；所述底座与所述加热室的一端连接，所述反光罩套设于所述加热室，且所述第一通孔暴露于所述反光罩外，所述加热丝设置于所述加热室。
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