[实用新型]一种蒸镀设备和系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体而言，涉及一种蒸镀设备和系统。

背景技术

在基板上形成有机发光二级管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件通常采用蒸镀工艺，具体地，是在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料升华成原子、分子或原子团组成的蒸气，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

经发明人研究发现，现有技术中，在对真空条件下进行材料蒸镀时，存在能源浪费和电源控制系统成本较高的问题，除此之外，现有的蒸镀设备无法实现对蒸镀过程的实时监测和蒸镀控制。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种蒸镀设备和系统，通过对蒸镀设备的巧妙设计，能够提高蒸镀效率，降低能源消耗，同时，能够实现蒸镀过程的有效监控。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括反光罩、加热丝和设备本体，所述设备本体包括底座和两端开口的中空加热室，所述加热室上开设有第一通孔；

所述底座与所述加热室的一端连接，所述反光罩套设于所述加热室，且所述第一通孔暴露于所述反光罩外，所述加热丝设置于所述加热室。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述反光罩包括两端开口的中空罩体和支架，所述支架与所述罩体的一端连接。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述设备本体还包括开设有多个第二通孔的盖体，所述盖体安装于远离所述底座的所述加热室的一端。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述加热丝绕设于所述加热室的外部。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述加热室的外壁开设有用于放置所述加热丝的凹槽。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述底座设置有第三通孔，所述加热丝绕设于所述加热室的内壁，且通过所述第二通孔延伸至所述加热室外。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述加热丝内嵌于所述加热室的侧壁，且所述加热丝的两端穿透所述侧壁，并延伸至所述加热室外。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述底座设置有加热丝。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述加热丝为钨丝。

一种蒸镀系统，所述蒸镀系统包括监控设备和上述所述的蒸镀设备，所述监控设备包括检测探头，所述检测探头设置于所述第一通孔处。

与现有技术相比，本实用新型提供的蒸镀设备和系统，通过对该蒸镀设备的巧妙设计，能够提高蒸镀效率，降低能源消耗，同时，可实现蒸镀过程的有效监控，且结构简单，易于操作。

进一步地，通过在蒸镀设备上设计带有小孔的盖体，能够有效避免蒸镀过程中由于材料受热而喷出加热室，进而导致蒸镀材料浪费的问题。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1A为本实用新型实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图。

图1B为本实用新型实施例提供的一种蒸镀设备的另一视角的结构示意图。

图2为图1中所示的反光罩的结构示意图。

图3为本实用新型实施例提供的设备本体与加热丝的位置关系示意图。

图4为本实用新型实施例提供的设备本体与加热丝的另一位置关系示意图。

图5为本实用新型实施例提供的设备本体与加热丝的又一位置关系示意图。

图6为本实用新型实施例提供的一种蒸镀设备的另一结构示意图。

图标：100-蒸镀设备；110-反光罩；112-罩体；114-支架；120-设备本体；122-加热室；1222-第一通孔；124-底座；130-加热丝；140-盖体；142-第二通孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。