[实用新型]一种蒸镀设备和系统有效
| 申请号： | 201720176912.3 | 申请日： | 2017-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN206438174U | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 冯亚青;冯敏强;廖良生 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 邓超 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 设备 系统 | ||
1.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括反光罩、加热丝和设备本体，所述设备本体包括底座和两端开口的中空加热室，所述加热室上开设有第一通孔；
所述底座与所述加热室的一端连接，所述反光罩套设于所述加热室，且所述第一通孔暴露于所述反光罩外，所述加热丝设置于所述加热室。
2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述反光罩包括两端开口的中空罩体和支架，所述支架与所述罩体的一端连接。
3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述设备本体还包括开设有多个第二通孔的盖体，所述盖体安装于远离所述底座的所述加热室的一端。
4.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热丝绕设于所述加热室的外部。
5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热室的外壁开设有用于放置所述加热丝的凹槽。
6.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述底座设置有第三通孔，所述加热丝绕设于所述加热室的内壁，且通过所述第三通孔延伸至所述加热室外。
7.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热丝内嵌于所述加热室的侧壁，且所述加热丝的两端穿透所述侧壁，并延伸至所述加热室外。
8.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述底座设置有加热丝。
9.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热丝为钨丝。
10.一种蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀系统包括监控设备和上述权利要求1-9中任一项所述的蒸镀设备，所述监控设备包括检测探头，所述检测探头设置于所述第一通孔处。
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