[实用新型]形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置有效
| 申请号： | 201720173197.8 | 申请日： | 2017-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN206428322U | 公开（公告）日： | 2017-08-22 |
| 发明（设计）人： | 王再德;魏庆旺;刘磊;张胜超;马焕明;王英锋 | 申请（专利权）人： | 中信戴卡股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 066318 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置，自动抽气系统（1）、磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）设置于真空镀膜室体（2）上；自动抽气系统（1）包括机械泵、高真空油扩散泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵；真空镀膜室体（2）设置为立式，设置两个平面磁控靶，并设置透明观察口，磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）包括靶座、强磁铁、平面金属靶；车轮公转装置（6）使车轮匀速公转，车轮自转装置（7）使车轮安装到镀膜机，车轮可以旋转，车轮固定卡扣（9）设置在车轮（8）与真空镀膜室体（2）之间；进气装置（10）设置于真空镀膜室体（2）。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 延展性 多层 变量 合金 保护膜 真空 直流 磁控溅射 装置 | ||
【主权项】：
形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置，包括自动抽气系统（1），真空镀膜室体（2），磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）、车轮公转装置（6）、车轮自转装置（7）、车轮固定卡扣（9）、进气装置（10），其特征在于：自动抽气系统（1）、磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）设置于真空镀膜室体（2）上； 自动抽气系统（1）包括机械泵、高真空油扩散泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵；真空镀膜室体（2）设置为立式，设置两个平面磁控靶，并设置透明观察口，磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）包括靶座、强磁铁、平面金属靶；车轮公转装置（6）使车轮匀速公转，车轮自转装置（7）使车轮安装到镀膜机，车轮可以旋转，车轮固定卡扣（9）设置在车轮（8）与真空镀膜室体（2）之间；进气装置（10）设置于真空镀膜室体（2）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中信戴卡股份有限公司，未经中信戴卡股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720173197.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有研磨功能的药材粉碎装置
- 下一篇：保护膜废边粉碎处理装置
- 同类专利
- 专利分类
