[实用新型]形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及多层合金保护膜表面处理设备领域。

背景技术

目前，物理汽相淀积法（PVD）广泛运用到汽车零部件表面处理工艺中，在汽车车标、汽车轮毂盖帽、汽车轮毂等零部件表面处理上发挥重要作用。物理汽相淀积法特点是表面达到金属白亮镜面光泽装饰效果，与传统喷涂底粉+色漆+透明漆相比，涂层性能相当，外观可以达到电镀效果。

发明内容

因此，本实用新型目的是提供一种改进的高真空直流磁控溅射装置。

形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置，包括自动抽气系统，真空镀膜室体，磁控靶材A、磁控靶材B、车轮公转装置、车轮自转装置、车轮固定卡扣、进气装置。

自动抽气系统、磁控靶材A、磁控靶材B设置于真空镀膜室体上。 真空抽气系统包括机械泵、高真空油扩散泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵；泵开启后，真空度降低，不同真空度自动开启相关泵。

真空镀膜室体设置为立式，设置两个平面磁控靶，并设置透明观察口，便于观察里面镀膜情况。真空镀膜室体内工作时先抽取真空，再充入工作气体。

磁控靶材A、磁控靶材B包括靶座，强磁铁，平面金属靶。

车轮公转装置使车轮在真空室内进行匀速公转，公转周期可调；车轮自转装置使车轮安装到镀膜机，车轮可以旋转，保证整个车轮镀膜厚度一致。车轮固定卡扣设置在车轮与真空镀膜室体之间；进气装置设置于真空镀膜室体。

附图说明

图1为本实用新型形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置示意图。

图中：1-自动抽气系统，2-真空镀膜室体，3-真空镀膜室体内，4-磁控靶材A，5-磁控靶材B，6-车轮公转装置，7-车轮自转装置，8-车轮，9-车轮固定卡扣、10-进气装置。

具体实施方式

形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置，包括自动抽气系统1，真空镀膜室体2，磁控靶材A4、磁控靶材B5、车轮公转装置6、车轮自转装置7、车轮固定卡扣9、进气装置10。

自动抽气系统1、磁控靶材A4、磁控靶材B5设置于真空镀膜室体2上。 真空抽气系统1包括机械泵、高真空油扩散泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵；泵开启后，真空度降低，不同真空度自动开启相关泵。

真空镀膜室体2设置为立式，设置两个平面磁控靶，并设置透明观察口。真空镀膜室体内3工作时先抽取真空，再充入工作气体。

磁控靶材A4、磁控靶材B5包括靶座，强磁铁，平面金属靶。

车轮公转装置6使车轮在真空室内进行匀速公转，公转周期可调；车轮自转装置7使车轮安装到镀膜机，车轮可以旋转，保证整个车轮镀膜厚度一致。车轮固定卡扣9设置在车轮8与真空镀膜室体2之间；进气装置10设置于真空镀膜室体2。