[实用新型]形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置

权利要求书

1.形成延展性多层变量合金保护膜的高真空直流磁控溅射装置，包括自动抽气系统（1），真空镀膜室体（2），磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）、车轮公转装置（6）、车轮自转装置（7）、车轮固定卡扣（9）、进气装置（10），其特征在于：

自动抽气系统（1）、磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）设置于真空镀膜室体（2）上； 自动抽气系统（1）包括机械泵、高真空油扩散泵、罗茨泵、旋片泵、维持泵；

真空镀膜室体（2）设置为立式，设置两个平面磁控靶，并设置透明观察口，磁控靶材A（4）、磁控靶材B（5）包括靶座、强磁铁、平面金属靶；

车轮公转装置（6）使车轮匀速公转，车轮自转装置（7）使车轮安装到镀膜机，车轮可以旋转，车轮固定卡扣（9）设置在车轮（8）与真空镀膜室体（2）之间；进气装置（10）设置于真空镀膜室体（2）。