[实用新型]真空腔观察窗有效
申请号: | 201720129943.3 | 申请日: | 2017-02-14 |
公开(公告)号: | CN206428325U | 公开(公告)日: | 2017-08-22 |
发明(设计)人: | 宋德鹏;崔庆华;乔晓杰 | 申请(专利权)人: | 济南力冠电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 山东众成清泰律师事务所37257 | 代理人: | 丁修亭 |
地址: | 250119 山东省济南市天桥区桑梓*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空腔用观察窗,包括具有管孔的腔室焊接法兰和与该腔室焊接法兰配装并具有观察孔的锁紧法兰,以及窗体组件,其中,管孔与观察孔同轴线,管孔与锁紧法兰相对的一端具有第一沉孔,观察孔与腔室焊接法兰相对的一端具有第二沉孔;窗体组件包括位于第一沉孔内的密封圈,以及透明窗片;其中,透明窗片部分的纳入第一沉孔,部分地纳入第二沉孔,并部分地位于第一沉孔和第二沉孔之外,形成支撑,而使得腔室焊接法兰与锁紧法兰间留有调整间隙。依据本实用新型的真空观察窗在具有较高密封性能的条件下,具有较好后期维护性。 | ||
搜索关键词: | 空腔 观察窗 | ||
【主权项】:
一种真空腔用观察窗,包括具有管孔的腔室焊接法兰和与该腔室焊接法兰配装并具有观察孔的锁紧法兰,以及窗体组件,其中,管孔与观察孔同轴线,其特征在于,管孔与锁紧法兰相对的一端具有第一沉孔,观察孔与腔室焊接法兰相对的一端具有第二沉孔;窗体组件包括位于第一沉孔内的密封圈,以及透明窗片;其中,透明窗片部分的纳入第一沉孔,部分地纳入第二沉孔,并部分地位于第一沉孔和第二沉孔之外,形成支撑,而使得腔室焊接法兰与锁紧法兰间留有调整间隙。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的