[实用新型]免开腔加料式蒸镀机有效
| 申请号： | 201720099143.1 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206570393U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李本龙 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 郭云梅 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于OLED显示器件制备技术领域，具体涉及一种免开腔加料式蒸镀机。其包括内部具有蒸镀腔室的机体，所述蒸镀腔室内设置有用于容置蒸镀材料的坩埚；所述机体的外侧设置有手套箱，所述手套箱内设置有加料腔室；所述加料腔室内设置有伸入所述蒸镀腔室内以向所述坩埚内补加蒸镀材料的加料管，所述加料管上设置有控制阀；所述加料腔室外安装有控制所述加料腔室内真空状态的真空控制装置。本实用新型能够避免蒸镀作业过程因出现材料耗尽而需要停机开腔加料的问题，大大节约了时间，提高了工作效率，并降低了开腔所需要的各种原料成本消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 开腔 加料 式蒸镀机 | ||
【主权项】：
免开腔加料式蒸镀机，包括内部具有蒸镀腔室(1)的机体(2)，所述蒸镀腔室(1)内设置有用于容置蒸镀材料的坩埚(3)；其特征在于：所述机体(2)的外侧设置有手套箱(5)，所述手套箱(5)内设置有加料腔室(6)；所述加料腔室(6)内设置有伸入所述蒸镀腔室(1)内以向所述坩埚(3)内补加蒸镀材料的加料管(7)，所述加料管(7)上设置有控制阀(8)；所述加料腔室(6)外安装有控制所述加料腔室内真空状态的真空控制装置(9)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京高光半导体材料有限公司，未经南京高光半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720099143.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：线性蒸发源堵口疏通装置
- 下一篇：双排式高效线性蒸发源
- 同类专利
- 专利分类
