[实用新型]免开腔加料式蒸镀机有效
| 申请号： | 201720099143.1 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206570393U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李本龙 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 郭云梅 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 开腔 加料 式蒸镀机 | ||
【权利要求书】：
1.免开腔加料式蒸镀机，包括内部具有蒸镀腔室(1)的机体(2)，所述蒸镀腔室(1)内设置有用于容置蒸镀材料的坩埚(3)；其特征在于：
所述机体(2)的外侧设置有手套箱(5)，所述手套箱(5)内设置有加料腔室(6)；
所述加料腔室(6)内设置有伸入所述蒸镀腔室(1)内以向所述坩埚(3)内补加蒸镀材料的加料管(7)，所述加料管(7)上设置有控制阀(8)；
所述加料腔室(6)外安装有控制所述加料腔室内真空状态的真空控制装置(9)。
2.如权利要求1所述的免开腔加料式蒸镀机，其特征在于：所述真空控制装置(9)包括真空泵。
3.如权利要求1或2所述的免开腔加料式蒸镀机，其特征在于：所述坩埚(3)的蒸发口上方设置有挡板(4)，所述加料管(7)的底端穿过所述挡板(4)。
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