[实用新型]一种镜片镀膜装置有效
申请号: | 201720085843.5 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN206486588U | 公开(公告)日: | 2017-09-12 |
发明(设计)人: | 袁志峰 | 申请(专利权)人: | 中山北方晶华精密光学有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 中山市高端专利代理事务所(特殊普通合伙)44346 | 代理人: | 钟作亮 |
地址: | 528400 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种镜片镀膜装置,包括真空腔体以及放置于该真空腔体内的发射源和镀膜伞,发射源设置在真空腔体的底部,镀膜伞设置在真空腔体的顶部。镀膜伞包括基片安装面以及围板,基片安装面设置有若干基片安装位,基片安装面为平面,镀膜伞的上方连接旋转机构,该旋转机构安装在真空腔体的顶部,旋转机构在真空腔体的顶部旋转。采用上述结构的本实用新型基片在镀膜的过程中不存在镀膜死角,使镀膜更加均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 镜片 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
一种镜片镀膜装置,包括真空腔体(3)以及放置于该真空腔体(3)内的发射源(5)和镀膜伞(4),所述发射源(5)设置在真空腔体(3)的底部,所述镀膜伞(4)设置在真空腔体(3)的顶部;所述镀膜伞(4)包括基片安装面(41)以及围板(43),所述基片安装面(41)设置有若干基片安装位(42),其特征在于:所述基片安装面(41)为平面,所述镀膜伞(4)的上方连接旋转机构(6),该旋转机构(6)安装在所述真空腔体(3)的顶部,所述旋转机构(6)在真空腔体(3)的顶部旋转。
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