[实用新型]一种镜片镀膜装置有效
申请号: | 201720085843.5 | 申请日: | 2017-01-20 |
公开(公告)号: | CN206486588U | 公开(公告)日: | 2017-09-12 |
发明(设计)人: | 袁志峰 | 申请(专利权)人: | 中山北方晶华精密光学有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 中山市高端专利代理事务所(特殊普通合伙)44346 | 代理人: | 钟作亮 |
地址: | 528400 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镜片 镀膜 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种镜片镀膜装置。
背景技术
当光线进入不同传递物质时,大约有5%会被反射掉,在光学瞄准镜中有许多透镜和折射镜,整个加起来可以让入射光线损失达30%至40%。现代光学透镜通常都镀有单层或多层氟化镁的增透膜。镀膜主要是为了减少反射。为了提高镜头的透光率和影像的质量,在现代镜头制造工艺上都要对镜头进行镀膜。镀膜设备应用广泛。需要镀膜的镜片一般称之为基片,镀膜所采用的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。镀膜设备主要包括真空离子蒸发、磁控溅射两大类。发射源将靶材发射到基片上进行镀膜。镀膜时,基片一般放置在镀膜伞上。然而目前的镀膜设备往往存在一个问题,就是镀膜效果不理想,基片的镀膜层不均匀,甚至有的位置镀不到膜。这是因为目前的镀膜伞的形状采用的是弧形的伞状结构,基片放置于镀膜伞的弧形面上,而发射源在镀膜伞的下面,发射源将靶材从下面往上发射,由于镀膜伞是弧形面,导致基片的有些位置存在死角,靶材不能喷射到基片的各个位置,特别是弧形的基片放置在弧形的镀膜伞的情况更容易出现镀膜死角。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种镀膜均匀,不存在镀膜死角的镜片镀膜装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种镜片镀膜装置,包括真空腔体以及放置于该真空腔体内的发射源和镀膜伞,发射源设置在真空腔体的底部,镀膜伞设置在真空腔体的顶部。镀膜伞包括基片安装面以及围板,基片安装面设置有若干基片安装位,基片安装面为平面,镀膜伞的上方连接旋转机构,该旋转机构安装在真空腔体的顶部,旋转机构在真空腔体的顶部旋转。
作为本实用新型的进一步改进,真空腔体的底部设置有若干支撑柱,该支撑柱的顶端安装有发射源固定板,发射源安装发射源固定板的下面。
本实用新型的有益效果是:由于镀膜伞基片安装面为平面,待镀膜的基片放置于镀膜伞基片安装面上,发射源将靶材从下面往上发射,基片的每个位置都可以喷射得到,不存在镀膜死角,同时镀膜伞的上方连接旋转机构,旋转机构可带动镀膜伞旋转,更加促进基片的镀膜接触面,使镀膜更加均匀。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的立体示意图。
具体实施方式
在此需要说明的是,对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型,但并不构成对本实用新型的限定。
参照图1,本实用新型的一种镜片镀膜装置,包括真空腔体3以及放置于该真空腔体3内的发射源5和镀膜伞4,发射源5设置在真空腔体3的底部,镀膜伞4设置在真空腔体3的顶部。镀膜伞4包括基片安装面41以及围板43,基片安装面41设置有若干基片安装位42,基片安装面41为平面,镀膜伞4的上方连接旋转机构6,该旋转机构6安装在真空腔体3的顶部,旋转机构6在真空腔体3的顶部旋转,旋转机构6带动镀膜伞4旋转。真空腔体3的底部设置有若干支撑柱1,该支撑柱1的顶端安装有发射源固定板2,发射源5安装发射源固定板2的下面,这样可以以简单的结构使得发射源5稳定的固定在真空腔体3的底部。
参照图1,由于镀膜伞4的基片安装面41为平面,待镀膜的基片放置于基片安装面41的安装位42上,发射源5从底部将靶材从下面往上发射,这样的结构可以保证基片的每个位置都可以喷射得到,不存在镀膜死角。同时镀膜伞4的上方连接旋转机构6,旋转机构6可带动镀膜伞4旋转,更能促进基片的镀膜接触面,使镀膜更加均匀。
以上所述仅为本实用新型的实施方式而已,并不限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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