[实用新型]一种镜片镀膜装置有效
| 申请号： | 201720085843.5 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN206486588U | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 袁志峰 | 申请（专利权）人： | 中山北方晶华精密光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中山市高端专利代理事务所(特殊普通合伙)44346 | 代理人： | 钟作亮 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镜片 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种镜片镀膜装置，包括真空腔体(3)以及放置于该真空腔体(3)内的发射源(5)和镀膜伞(4)，所述发射源(5)设置在真空腔体(3)的底部，所述镀膜伞(4)设置在真空腔体(3)的顶部；所述镀膜伞(4)包括基片安装面(41)以及围板(43)，所述基片安装面(41)设置有若干基片安装位(42)，其特征在于：所述基片安装面(41)为平面，所述镀膜伞(4)的上方连接旋转机构(6)，该旋转机构(6)安装在所述真空腔体(3)的顶部，所述旋转机构(6)在真空腔体(3)的顶部旋转。
2.根据权利要求1所述的一种镜片镀膜装置，其特征在于：所述真空腔体(3)的底部设置有若干支撑柱(1)，该支撑柱(1)的顶端安装有发射源固定板(2)，所述发射源(5)安装发射源固定板(2)的下面。
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