[实用新型]一种化学机械抛光用的游星轮有效
| 申请号： | 201720080553.1 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN206937073U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 黄荣燕 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人： | 曹祖良,屠志力 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种化学机械抛光用的游星轮，包括轮体，其主要改进之处在于，所述轮体包括上层轮体和下层轮体，在上下两层轮体中间设有隔板；在上下两层轮体中各开出凹槽；在凹槽中设有吸附衬垫；使用时把晶片放置于吸附衬垫，凹槽四周边沿挡住晶片；在上层轮体和下层轮体上均设有开孔，所述开孔并不贯穿游星轮，而是只开通到上层轮体和下层轮体底部，中间有隔板阻挡。该游星轮放置晶片的位置并不是开设的通孔，而是在游星轮轮体上下各设一个凹槽，里面有吸附衬垫，可以在游星轮中上下同时放置两个晶片，在对晶片进行单面抛光时，同样的时间可以抛光两倍数量的晶片，提高了抛光产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 游星 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光用的游星轮，包括轮体，其特征在于，所述轮体包括上层轮体(201)和下层轮体(202)，在上下两层轮体中间设有隔板(203)；在上下两层轮体中各开出凹槽；在凹槽中设有吸附衬垫(204)；使用时把晶片(1)放置于吸附衬垫(204)，凹槽四周边沿挡住晶片(1)；在轮体上开有贯通轮体的通孔(205)，通孔(205)位置避开用于放置晶片(1)的凹槽位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉姆西半导体科技（无锡）有限公司，未经吉姆西半导体科技（无锡）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720080553.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型液晶玻璃研磨机
- 下一篇：一种锁具封片端面的抛光机
