[实用新型]晶圆单面抛光装置有效
| 申请号： | 201720064901.6 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN206464991U | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 韦荣 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12;B24B49/02;B24B37/34;B24B41/06 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人： | 曹祖良,屠志力 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆单面抛光装置，包括大盘、抛光垫、晶圆夹持装置、支撑装置、侦测杆、影像传感器；抛光垫设置在大盘的一个工作面；晶圆夹持装置设置在抛光垫上方；晶圆夹持装置下端用于固定住晶圆；侦测杆设置在抛光垫上方，影像传感器安装在侦测杆上并对准抛光垫；影像传感器的侦测范围至少包括晶圆夹持装置内侧边缘至晶圆夹持装置外侧边缘之间区域；侦测杆固定在支撑装置上；本实用新型能够通过实时监控抛光垫上面的颜色差异来判断抛光工艺进行的程度，使抛光工艺参数达到自动化优化，还可以发现可能发生的抛光液污染问题，抛光过程中的晶圆碎裂问题。 | ||
| 搜索关键词： | 单面 抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆单面抛光装置，包括大盘(1)、抛光垫(2)、晶圆夹持装置(3)、支撑装置(4)、侦测杆(5)、影像传感器(6)；抛光垫(2)设置在大盘(1)的一个工作面；晶圆夹持装置(3)设置在抛光垫(2)上方；晶圆夹持装置(3)下端用于固定住晶圆；侦测杆(5)设置在抛光垫(2)上方，影像传感器(6)安装在侦测杆(5)上并对准抛光垫(2)；影像传感器(6)的侦测范围至少包括晶圆夹持装置(3)内侧边缘至晶圆夹持装置(3)外侧边缘之间区域；侦测杆(5)固定在支撑装置(4)上，支撑装置(4)位于大盘(1)和抛光垫(2)上方。
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