[实用新型]晶圆单面抛光装置有效
| 申请号： | 201720064901.6 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN206464991U | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 韦荣 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12;B24B49/02;B24B37/34;B24B41/06 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人： | 曹祖良,屠志力 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单面 抛光 装置 | ||
1.一种晶圆单面抛光装置，包括大盘(1)、抛光垫(2)、晶圆夹持装置(3)、支撑装置(4)、侦测杆(5)、影像传感器(6)；
抛光垫(2)设置在大盘(1)的一个工作面；晶圆夹持装置(3)设置在抛光垫(2)上方；晶圆夹持装置(3)下端用于固定住晶圆；
侦测杆(5)设置在抛光垫(2)上方，影像传感器(6)安装在侦测杆(5)上并对准抛光垫(2)；影像传感器(6)的侦测范围至少包括晶圆夹持装置(3)内侧边缘至晶圆夹持装置(3)外侧边缘之间区域；
侦测杆(5)固定在支撑装置(4)上，支撑装置(4)位于大盘(1)和抛光垫(2)上方。
2.如权利要求1所述的晶圆单面抛光装置，其特征在于，
晶圆夹持装置(3)将晶圆压在抛光垫(2)上，晶圆的一个待抛光面与抛光垫(2)接触；大盘(1)在大盘驱动机构带动下转动，同时晶圆夹持装置(3)带动晶圆转动；使得晶圆能够相对抛光垫(2)围绕晶圆中心自转和围绕抛光垫(2)中心公转。
3.如权利要求1所述的晶圆单面抛光装置，其特征在于，
支撑装置(4)位于抛光垫(2)中央，侦测杆(5)为长条形，从抛光垫(2)中心沿径向向外侧延伸。
4.如权利要求1所述的晶圆单面抛光装置，其特征在于，
侦测杆(5)为环形，围绕抛光垫(2)中心间隔设有一圈或数圈环形侦测杆(5)。
5.如权利要求1所述的晶圆单面抛光装置，其特征在于，
侦测杆(5)上面有孔洞，影像传感器(6)安装在侦测杆(5)的孔洞处。
6.如权利要求1所述的晶圆单面抛光装置，其特征在于，
影像传感器(6)为图像传感器或红外探测传感器。
7.如权利要求1所述的晶圆单面抛光装置，其特征在于，
晶圆夹持装置(3)下端通过吸附或粘附方式固定住晶圆。
8.如权利要求1所述的晶圆单面抛光装置，其特征在于，
晶圆夹持装置(3)围绕抛光垫(2)中心沿周向均布数个。
9.如权利要求1所述的晶圆单面抛光装置，其特征在于，
在影像传感器(6)之间还设有照明灯。
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