[实用新型]一种新型的多晶硅片清洗供水系统

摘要

一种新型的多晶硅片清洗供水系统，将原来的每个槽单独供水供水改为给七槽单独进水，然后七槽溢流的供水输送至六槽，六槽溢流的供水输送至五槽，五槽溢流的供水存储至储水箱，再通过储水箱供应给一槽，当储水箱睡不足时，一槽供水给储水箱，降低了每个槽的供水量，节约了水源，将原来的每个槽单独加热改为由在线加热器加热供水，供水温度太低才会触发槽内的加热装置进行加热，节约了电能，节约了制造成本，在线加热器上设有保温套，能够很好地减少在线加热器内热量的流失，使加热器能够最大程度加热供水，储水箱上设有保温壳，减少储水箱内的热量流失，第一管道、第二管道、第三管道、第四管道和第五管道采用聚乙烯泡沫塑料材料制成，隔热性能好，能够减少供水在输送过程中热量的损耗。

主权项

一种新型的多晶硅片清洗供水系统，其特征在于，包括水源、在线加热器、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道、第五管道、一槽、二槽、三槽、四槽、五槽、六槽、七槽、阀门和储水箱，所述一槽、二槽、三槽、四槽、五槽、六槽和七槽自左向右等间隔排列，且形状完全相同，所述水源通过第一管道与一槽相连，所述阀门设置在第一管道上，所述第二管道一端与第一管道相连，另一端与在线加热器相连，所述在线加热器包括保温套、外壳、加热管道、加热器、第一进水管和第一出水管，所述外壳呈长方体、所述保温套呈长方体，保温套设置在外壳上，所述加热管道设置在外壳内，且设置在外壳中部，所述进水管一端与第二管道相连，另一端与加热管道一端相连，所述出水管一端与加热管道相连，另一端与七槽相连，所述加热器有多个，加热器设置在外壳内，加热器对称设置在外壳上下两端，且与外壳固定连接，所述第三管道一端与储水箱相连，另一端与第一管道相连，所述第四管道一端与五槽相连，另一端与储水箱相连，所述储水箱包括保温壳、储水箱本体、第二进水管、第二出水管和浮球液位开关，所述储水箱本体呈长方体、所述保温壳设置在储水箱上，所述液位开关设置在储水箱本体内，且设置在储水箱本体一侧，所述第二出水管设置在储水箱下端，第二出水管一端与第三管道相连，另一端与储水箱本体相连，所述第二进水管设置在第二出水管上方，第二出水管一端与第四管道相连，另一端与储水箱本体相连，所述七槽、六槽和五槽之间通过第五管道连接。