[实用新型]一种新型的多晶硅片清洗供水系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅片清洗领域，是一种新型的多晶硅片清洗供水系统。

背景技术

目前，多晶硅片的清洗是多晶硅片加工的过程中重要的工序，微量污染会导致器件的失效，多晶硅片的清洗是采用物理或者化学的方法出去硅片表面的污染物和自身氧化物，使操作人员能够得到符合清洁度要求的硅片的过程。现有的多晶硅片清洗设备有七个槽，其中一槽为浸泡溢流槽、二~四槽为药洗槽、五~七槽为溢流槽，每个槽均进行单独加热，一、五~七槽进行单独供水和溢流，溢流水直接排放，因此对纯水的需求过大，会造成水资源的浪费，且加热电量较高，浪费电能。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出一种新型的多晶硅片清洗供水系统，即七槽单独进水，然后溢流的供水输送至六槽，六槽溢流的供水输送至五槽，五槽溢流的供水存储至储水箱，再通过储水箱供应给一槽。

为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是:

一种新型的多晶硅片清洗供水系统，其特征在于，包括水源、在线加热器、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道、第五管道、一槽、二槽、三槽、四槽、五槽、六槽、七槽、阀门和储水箱，所述一槽、二槽、三槽、四槽、五槽、六槽和七槽自左向右等间隔排列，且形状完全相同，所述水源通过第一管道与一槽相连，所述阀门设置在第一管道上，所述第二管道一端与第一管道相连，另一端与在线加热器相连，所述在线加热器包括保温套、外壳、加热管道、加热器、第一进水管和第一出水管，所述外壳呈长方体、所述保温套呈长方体，保温套设置在外壳上，所述加热管道设置在外壳内，且设置在外壳中部，所述进水管一端与第二管道相连，另一端与加热管道一端相连，所述出水管一端与加热管道相连，另一端与七槽相连，所述加热器有多个，加热器设置在外壳内，加热器对称设置在外壳上下两端，且与外壳固定连接，所述第三管道一端与储水箱相连，另一端与第一管道相连，所述第四管道一端与五槽相连，另一端与储水箱相连，所述储水箱包括保温壳、储水箱本体、第二进水管、第二出水管和浮球液位开关，所述储水箱本体呈长方体、所述保温壳设置在储水箱上，所述液位开关设置在储水箱本体内，且设置在储水箱本体一侧，所述第二出水管设置在储水箱下端，第二出水管一端与第三管道相连，另一端与储水箱本体相连，所述第二进水管设置在第二出水管上方，第二出水管一端与第四管道相连，另一端与储水箱本体相连，所述七槽、六槽和五槽之间通过第五管道连接；

进一步的所述，第一管道、第二管道、第三管道、第四管道和第五管道采用聚乙烯泡沫塑料材料制成；

进一步的所述，保温套和保温壳内均设有保温海绵；

进一步的所述，浮球液位开关控制阀门的开启与关闭；

进一步的所述，每个槽上底部设有加热装和温度感应器，温度感应器与加热装置之间通过线路连接。

本实用新型的有益效果为：

一种新型的多晶硅片清洗供水系统，将原来的每个槽单独供水供水改为给七槽单独进水，然后七槽溢流的供水输送至六槽，六槽溢流的供水输送至五槽，五槽溢流的供水存储至储水箱，再通过储水箱供应给一槽，当储水箱睡不足时，一槽供水给储水箱，降低了每个槽的供水量，节约了水源，将原来的每个槽单独加热改为由在线加热器加热供水，供水温度太低才会触发槽内的加热装置进行加热，节约了电能，节约了制造成本，在线加热器上设有保温套，能够很好地减少在线加热器内热量的流失，使加热器能够最大程度加热供水，储水箱上设有保温壳，减少储水箱内的热量流失，第一管道、第二管道、第三管道、第四管道和第五管道采用聚乙烯泡沫塑料材料制成，隔热性能好，能够减少供水在输送过程中热量的损耗。

附图说明

图1多晶硅片清洗供水系统结构框图。

图2加热器剖视图。

图3储水箱剖视图。

图4一槽剖视图。

具体实施方式