[实用新型]具有物理溯源性的相位发生装置

摘要

本实用新型提供一种具有物理溯源性的相位发生装置，包括信号产生单元，用于产生频率为f1的第一信号以及频率为f2的第二信号；还用于产生频率为f3的第三信号，且f3为f1与f2的差值绝对值；激光调制单元，用于将第一信号调制到激光信号中；延时调整单元，用于将调制后的激光信号经由预设传输路径延时后转换为第四信号；其中，预设传输路径的距离根据预设相位差计算获得；信号产生单元还用于将第四信号与第二信号进行混频，得到频率为f3的第五信号；相位差单元，用于将第三信号与第五信号进行对比得到相位差。本实用新型通过激光光路延时，产生与距离成正比的相位延时，为相位的测量标准做出了贡献，能快速响应相位的调整。

主权项

一种具有物理溯源性的相位发生装置，其特征在于，包括：信号产生单元，包括锁相环、与所述锁相环相连的两个放大器、与其中一个放大器相连的混频器以及与所述混频器相连的放大子单元；所述信号产生单元用于产生频率为f1的第一信号以及频率为f2的第二信号；还用于产生频率为f3的第三信号，且f3为f1与f2的差值绝对值；激光调制单元，与所述信号产生单元中未与所述混频器相连的放大器相连；所述激光调制单元用于将所述第一信号调制到激光信号中；延时调整单元，包括发射模块、目标板以及光电转换器；其中，所述发射模块与所述激光调制单元相连，所述光电转换器与所述信号产生单元中的混频器相连；所述延时调整单元用于将调制后的激光信号经由预设传输路径延时后转换为第四信号；其中，所述预设传输路径的距离根据预设相位差计算获得；所述信号产生单元还用于将所述第四信号与所述第二信号进行混频，得到频率为f3的第五信号；相位差单元，与所述信号产生单元中的放大子单元相连，用于将所述第三信号与所述第五信号进行对比得到相位差。