[实用新型]一种基于气体流量测量气膜内气体密度的装置

摘要

本实用新型涉及一种基于气体流量测量气膜内气体密度的装置，属于精密设备性能检测领域。本实用新型所述基座固定在水平地面上，隔震平台放置在基座上，大理石平台放置于水平的隔振平台上，空气静压轴承放置在大理石平台中央，压力传感器放置在空气静压轴承正上方，传感器支架一端固定在隔震平台上，传感器支架另一端连接微位移传感器接入微力传感器，气缸安装在支架上并位于压力传感器的正上方；空气压缩机把气源经过压缩之后，由三通分出三路气体分别给气缸和空气静压轴承供气。本实用新型通过气体流量的调节，通过气膜厚度变化对气膜间隙的影响，从而利用所测得气体流量的变化量计算出气膜内气体的密度。

主权项

一种基于气体流量测量气膜内气体密度的装置，其特征在于：包括基座（1）、隔震平台（2）、大理石平台（3）、空气静压轴承（4）、压力传感器（5）、传感器支架（6）、微位移传感器（7）、气缸（8）、支架（9）、压力调节阀（10）、流量计（11）、压力表（12）和空气压缩机（13）；所述基座（1）固定在水平地面上，隔震平台（2）放置在基座（1）上，大理石平台（3）放置于水平的隔振平台（2）上，空气静压轴承（4）放置在大理石平台（3）中央，压力传感器（5）放置在空气静压轴承（4）正上方，传感器支架（6）一端固定在隔震平台（2）上，传感器支架（6）的另一端连接微位移传感器（7）接入微力传感器，气缸（8）安装在支架（9）上并位于压力传感器（5）的正上方；空气压缩机（13）把气源经过压缩之后，由三通分出三路气体分别给气缸（8）和空气静压轴承（4）供气，给气缸（8）供气的支路上安装有压力表（12）、压力调节阀（10）用以控制气缸（8）的运动，给空气静压轴承（4）供气的支路上装有压力表（12）、压力调节阀（10）和流量计（11），用以检测气压和气体流量。