[实用新型]一种微结构刻蚀的加工装置

摘要

一种微结构刻蚀的加工装置，包括驱动装置、反应装置和操作台；驱动装置包括旋转装置和六自由度运动平台；旋转装置设于六自由度运动平台的上方；反应装置包括反应盒体、加热贴片、搅拌励磁线圈、特殊磁力搅拌盘、若干层晶圆支架、喷淋器和检测调节装置；反应盒体的底部连接旋转装置，其底部内设置有刻蚀液注/排入口；搅拌励磁线圈设置于反应盒体的正下方，并连接六自由度运动平台的上端；特殊磁力搅拌盘设于反应盒体内底部的安装槽内；晶圆支架分别水平分层架设于反应盒体内；喷淋器设于晶圆支架上；检测调节装置设于反应盒体的侧壁；本实用新型提出的刻蚀的加工装置，实现了在半导体产业中复杂微结构的简易且高效地加工。

主权项

一种微结构刻蚀的加工装置，其特征在于：包括驱动装置、反应装置和操作台；所述驱动装置设置于所述反应装置的下方，并通过电气连接于所述操作台；所述驱动装置包括旋转装置和六自由度运动平台；所述旋转装置设置于所述六自由度运动平台的上方，并连接于所述反应装置；所述反应装置包括反应盒体、加热贴片、搅拌励磁线圈、特殊磁力搅拌盘、若干层晶圆支架、喷淋器和检测调节装置；所述反应盒体的底部连接于所述旋转装置，并且其底部内设置有刻蚀液注/排入口，所述刻蚀液注/排入口呈圆周对称分布；所述加热贴片设置有两片，分别对称内嵌于所述反应盒体的腔壁内，且与外部的加热电源连接；所述搅拌励磁线圈设置于所述反应盒体的正下方，并连接于六自由度运动平台的上端；所述特殊磁力搅拌盘设置于所述反应盒体底部的安装槽内；所述晶圆支架分别水平分层架设于所述反应盒体内；所述喷淋器设置于所述晶圆支架上，并呈中心对称分布；所述检测调节装置设置于所述反应盒体的侧壁上，并且其高度高于最上方的所述晶圆支架；所述晶圆支架内嵌设置有铂金属片，用作为电化学阳极，所述反应盒体的底部还设置有耐蚀铂电极，用作为电化学阴极；所述铂金属片和所述耐蚀铂电极分别与外部电源电气连接。