[实用新型]一种硅片遮盖式保存盒

摘要

本实用新型涉及于半导体制造装备技术领域，具体是一种硅片遮盖式保存盒，包括上盖、硅片存放片盒及下底，所述的上盖为向下开口的盒体结构，该上盖在其每个内壁垂直形成至少一根凸筋，所述上盖在其开口处向下伸出一圈橡胶挡边。本实用新型的有益效果是，在硅片存放片盒外加装遮盖式的上盖和下底，硅片受环境中颗粒污染的程度大幅度减少，避免了与外界接触,最大幅度减少因外界温湿度以及颗粒对其造成的影响；所述硅片存放片盒能够固定在上盖和下底的内部，防止滑动，保护硅片完好无损。

主权项

一种硅片遮盖式保存盒，包括上盖(1)、硅片存放片盒(2)及下底(3)，其特征在于，所述的上盖(1)为向下开口的盒体结构，该上盖(1)在其每个内壁垂直形成至少一根凸筋(11)，所述上盖(1)在其开口处向下伸出一圈橡胶挡边；所述下底(3)为朝上开口的盒体结构，该下底(3)在其每个内壁形成与所述上盖(1)的凸筋(11)相匹配的凹槽，所述下底(3)在其开口下方的内壁设有一圈用于安装所述硅片存放片盒(2)的安装凹沟；所述硅片存放片盒(2)为朝上开口的盒体结构，该硅片存放片盒(2)的内底形成若干用于插入硅片的条状凹槽，所述硅片存放片盒(2)沿其开口边形成与所述下底(3)的安装凹槽相配适的卡接凸条；所述硅片存放片盒(2)安装在所述下底(3)内，所述安装凹槽与卡接凸条进行卡接，所述上盖(1)安装在所述下底(3)上，所述凸筋(11)与凹沟相配适。