[实用新型]一种高灵敏压力传感器有效
| 申请号： | 201720006563.0 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN207366110U | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 王炜;谭化兵 | 申请（专利权）人： | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京煦润律师事务所 11522 | 代理人： | 艾娟 |
| 地址： | 214174 江苏省无锡市无锡惠山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高灵敏压力传感器，包括感应层、衬底层、隔离层；所述感应层包括感应层衬底和铺设于感应层衬底表面的导电层；所述隔离层位于导电层与衬底层中间，与导电层、衬底层贴合在一起，并将所述导电层与所述衬底层之间的接触呈间断性的隔离；所述衬底层与隔离层接触的一面设置成凹凸不平的粗槽表面；所述衬底层具有导电性，由其引出电极，用于检测电阻的变化。本实用新型提供的高灵敏的压力传感器在特定形貌的硅基表面贴合柔性的导电层，通过柔性导电层承受压力带来的形变，改变传感器导电性能，从而可以检测到微小力的变化，实现了压力感应和测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种高灵敏压力传感器，其特征在于：包括感应层、衬底层、隔离层；所述感应层包括感应层衬底和铺设于感应层衬底表面的导电层；所述隔离层位于导电层与衬底层中间，与导电层、衬底层贴合在一起，并将所述导电层与所述衬底层之间的接触呈间断性的隔离；所述衬底层与隔离层接触的一面设置成凹凸不平的粗槽表面；所述衬底层具有导电性，由其引出电极，用于检测电阻的变化。
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