[实用新型]一种高灵敏压力传感器

权利要求书

1.一种高灵敏压力传感器，其特征在于：包括感应层、衬底层、隔离层；所述感应层包括感应层衬底和铺设于感应层衬底表面的导电层；所述隔离层位于导电层与衬底层中间，与导电层、衬底层贴合在一起，并将所述导电层与所述衬底层之间的接触呈间断性的隔离；所述衬底层与隔离层接触的一面设置成凹凸不平的粗槽表面；所述衬底层具有导电性，由其引出电极，用于检测电阻的变化。

2.根据权利要求1所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述衬底层与隔离层接触的一面设置成阵列排布的突起。

3.根据权利要求2所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述突起采用金字塔结构的形貌。

4.根据权利要求3所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述金字塔结构的底边边长为0.1μm-10μm。

5.根据权利要求1所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述衬底层采用单晶硅或掺杂的单晶硅。

6.根据权利要求1所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述衬底层的方阻为1Ω/□-100000Ω/□。

7.根据权利要求1所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述衬底层的厚度为1μm-10mm。

8.根据权利要求1所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述导电层采用石墨烯薄膜、碳纳米管薄膜、纳米银线薄膜、碳纤维薄膜、导电树脂薄膜或以上材料中的两种或两种以上的复合材料。

9.根据权利要求1所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述导电层方块电阻为0.1Ω/□-10000Ω/□。

10.根据权利要求1所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：隔离层分布为离散的点状、不连续的线状或二者的复合。

11.根据权利要求1所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述感应层衬底具有弹性。

12.根据权利要求1所述的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述压力传感器设有一个或多个感应区，每个感应区均由感应层、衬底层和隔离层的周围粘结封装而成。