[发明专利]一种硅基显示面板及其形成方法以及其曝光工艺的光罩在审
| 申请号： | 201711497635.7 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109991817A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 钱栋;李启 | 申请（专利权）人： | 上海视涯信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L27/32 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201206 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅基显示面板的形成方法，包括：提供一硅基板，所述硅基板包括显示区域和围绕所述显示区域的周边区域；提供第一组光罩，所述第一组光罩对应所述显示区域，在显示区域的曝光工艺中使用所述第一组光罩；提供第二组光罩，所述第二组光罩对应所述周边区域，在周边区域的曝光工艺中使用所述第二组光罩；所述显示区域的曝光工艺和所述周边区域的曝光工艺为不同工艺步骤。本发明提供的硅基显示面板的形成方法，不进行显示区域像素图形的拼接，从而提高良率及显示效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩 显示区域 曝光工艺 周边区域 显示面板 硅基 硅基板 工艺步骤 显示效果 像素图形 良率 拼接 | ||
【主权项】：
1.一种硅基显示面板的形成方法，其特征在于，提供一硅基板，所述硅基板包括显示区域和围绕所述显示区域的周边区域；提供第一组光罩，所述第一组光罩对应所述显示区域，在显示区域的曝光工艺中使用所述第一组光罩；提供第二组光罩，所述第二组光罩对应所述周边区域，在周边区域的曝光工艺中使用所述第二组光罩；所述显示区域的曝光工艺和所述周边区域的曝光工艺为不同工艺步骤。
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