[发明专利]一种连续低沸点材料热蒸发镀膜装置

摘要

本发明涉及一种连续低沸点材料热蒸发镀膜装置，包括：坩埚（1）以及出气管（5），出气管上端设有锥形阀门（6），出气管上端连接输气管（8），输气管的后段（8B）中采用线状排列设置一组喷嘴（9），输气管的后段（8B）设置在镀膜线的真空腔室中；坩埚设有与其夹层相连的真空抽气装置、以及用于快速冷却坩埚及输气管道的氮气装置；其特征在于：输气管8中设有高温挡板阀（10），其中设有的挡板阀及第二密封圈与输气管（8）的后段（8B）的入口形成密封配合。本发明的有益效果是：采用此种方式蒸发镀膜，可以大大的降低设备停机时间，提高设备稼动率，提高生产效率，节约生产成本，适应大规模连续生产。

主权项

1.一种连续低沸点材料热蒸发镀膜装置，其特征在于包括：装载蒸发材料的双层结构的坩埚（1），坩埚内层设有加热组件（2）、外层设有冷却水管（3）；坩埚的侧面设有进料口（4）、上面设有蒸发出气口，蒸发出气口上设有出气管（5），出气管上端设有锥形阀门（6），锥形阀门（6）由伺服电机（7）控制；出气管上端连接输气管（8）的前段（8A），输气管的后段（8B）中采用线状排列设置一组喷嘴（9），输气管的后段（8B）设置在镀膜线的真空腔室中；坩埚设有与其夹层相连的真空抽气装置、以及用于快速冷却坩埚及输气管道的氮气装置；其特征在于：输气管（8）的前段（8A）与后段（8B）之间设有高温挡板阀（10），它包括：设置于输气管（8）的前段（8A）与后段（8B）之间带有空腔的阀体（105），阀体与输气管（8）的前段与后段联通，阀体上端设置一个伺服电机（101），其输出轴上连接一个轴套（103），轴套（103）与丝杆（104）连接配合，丝杆（104）螺纹部分与设置在阀体内腔中的第二支座（107a）中的螺母连接配合，丝杆（104）下部的光杆部分与设置在阀体内腔中的第一支座（107）中的通孔连接配合，第一支撑座的通孔装有第一密封圈（106）与丝杆光轴部分形成密封配合，达到二次密封的目的；丝杆下端连接一个四连杆机构（108）, 四连杆机构另一端连接挡板阀（109），挡板阀（109）上设有第二密封圈（110），丝杆向下伸出到位后, 挡板阀（109）及第二密封圈（110）与输气管（8）的后段（8B）的入口形成密封配合。