[发明专利]一种连续低沸点材料热蒸发镀膜装置

说明书

本发明涉及一种连续低沸点材料热蒸发镀膜装置，包括：坩埚（1）以及出气管（5），出气管上端设有锥形阀门（6），出气管上端连接输气管（8），输气管的后段（8B）中采用线状排列设置一组喷嘴（9），输气管的后段（8B）设置在镀膜线的真空腔室中；坩埚设有与其夹层相连的真空抽气装置、以及用于快速冷却坩埚及输气管道的氮气装置；其特征在于：输气管8中设有高温挡板阀（10），其中设有的挡板阀及第二密封圈与输气管（8）的后段（8B）的入口形成密封配合。本发明的有益效果是：采用此种方式蒸发镀膜，可以大大的降低设备停机时间，提高设备稼动率，提高生产效率，节约生产成本，适应大规模连续生产。

技术领域

本发明涉及用于太阳能薄膜电池生产中真空镀膜领域，特别是涉及一种连续低沸点材料热蒸发镀膜的装置。

背景技术

热蒸发镀膜法是在真空环境中利用电流加热、电子束加热、或激光加热等方法使蒸发材料变成团簇、分子或原子，以较大的自由程作近自由运动，当这些自由运动的分子或原子碰撞到温度较低的基片，就在基片上凝结下来，沉积覆盖在基片上形成薄膜。热蒸发镀膜法具有纯度高、结晶好的优点，常用于金属薄膜、半导体薄膜、薄膜太阳能电池材料的生产制作。

在生产中，衬底的尺寸通常较大，所以一般生产线都是采用多个热蒸发源喷嘴均与或有序分布在基片一侧，对基片进行沉积，在蒸发原料用完后进行重新装填原料时需要抽真空，而此种方式会因为蒸发源出气管与喷嘴密封性较差，存在操作困难、效率低下的问题，很难进行连续生产。

发明内容

为本发明的目的就是为了解决以上的技术问题，提供的一种连续低沸点材料热蒸发镀膜装置，能够真正连续生产，不因原材料不够问题而停产的设备。

本发明是通过以下技术方案实现的：

一种连续低沸点材料热蒸发镀膜装置，包括：

装载蒸发材料的双层结构的坩埚，坩埚内层设有加热组件、外层设有冷却水管；

坩埚的侧面设有进料口、上面设有蒸发出气口，蒸发出气口上设有出气管，出气管上端设有锥形阀门，锥形阀门由伺服电机控制；

出气管上端连接输气管的前段，输气管的后段中采用线状排列设置一组喷嘴，输气管的后段设置在镀膜线的真空腔室中；

坩埚设有与其夹层相连的真空抽气装置、以及用于快速冷却坩埚及输气管道的氮气装置；

其特征在于：输气管的前段与后段之间设有高温挡板阀，它包括：

设置于输气管的前段与后段之间带有空腔的阀体，阀体与输气管8的前段与后段联通，阀体上端设置一个伺服电机，其输出轴上连接一个轴套，轴套与丝杆连接配合，丝杆螺纹部分与设置在阀体内腔中的第二支座中的螺母连接配合，丝杆下部的光杆部分与设置在阀体内腔中的第一支座中的通孔连接配合，第一支撑座的通孔装有第一密封圈与丝杆光轴部分形成密封配合，达到二次密封的目的；

丝杆下端连接一个四连杆机构, 四连杆机构另一端连接挡板阀，挡板阀上设有第二密封圈，丝杆向下伸出到位后, 挡板阀及第二密封圈与输气管的后段的入口形成密封配合。

丝杆向下移动使挡板阀伸出到位后, 四连杆机构自动从挡板背面提供一个支撑力,使阀门密封性在两侧压力相同的情况下也能更好的密封。

进一步优化的技术方案是：

阀体上端设有磁流体密封与伺服电机连接的轴套密封配合，完美的解决了高温下传统ORING因密封圈磨损及老化问题而引起的泄露；

进一步优化的技术方案是：在阀体一侧设置一个抽真空出口，抽真空出口连接抽真空管，抽真空管上还连接氮气管，抽真空管和氮气管分别与真空抽气装置及氮气装置相连；

如此设计是为了防止密封意外情况发生时对此区域进行处理，同时也可以对此处用氮气进行冲洗或快速冷却作用。