[发明专利]制程监控方法与制程监控系统有效
| 申请号： | 201711472014.3 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109143951B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 萧郁伦;胡金桢 | 申请（专利权）人： | 亚智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 黄超;周春发 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种制程监控方法，包括以下步骤：接收设定参数；于蚀刻时间中的侦测指定时间内接收制程参数；于侦测指定时间中每隔取样时间内处理制程参数，在制程取样范围内以产生制程参数的特征码；判断制程补偿时间，依据制程参数的特征码，搜寻相似的设定参数，以决定蚀刻时间的制程补偿时间；更新制程参数的特征码至资料库参数。此外，一种制程监控系统亦被提出。 | ||
| 搜索关键词： | 监控 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种制程监控方法，其特征在于，其包括以下步骤：接收一设定参数，其中该设定参数包括一配方参数与一资料库参数，该配方参数包含一蚀刻时间；于该蚀刻时间中的一侦测指定时间内接收一制程参数，其中该制程参数产生自光感测元件；于该侦测指定时间中每隔一取样时间内处理该制程参数，在一制程取样范围内以产生相应的该制程参数的特征码；判断制程补偿时间，依据该制程参数的特征码，搜寻相似的该设定参数，以决定该蚀刻时间的一制程补偿时间；以及更新该制程参数的特征码至该资料库参数。
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