[发明专利]大面积CVD石墨烯掺杂转移方法有效
| 申请号： | 201711469892.X | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108101027B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 马金鑫;姜浩;徐鑫 | 申请（专利权）人： | 重庆墨希科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/182 | 分类号： | C01B32/182;C01B32/184;C01B32/194 |
| 代理公司： | 51232 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘文娟 |
| 地址： | 401329 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种够保证CVD石墨烯掺杂效果稳定同时避免转移破损的大面积CVD石墨烯掺杂转移方法。该方法包括步骤：S1、在催化衬底上生成CVD石墨烯层；S2、在CVD石墨烯层上形成掺杂挤吸收层；S3、在掺杂剂吸收层上形成转移支撑层；S4、分离催化衬底；S5、将S4中得到的CVD石墨烯层、掺杂剂吸收层、转移支撑层的复合结构旋转180°放置在目标基底；S6、将S5中得到的复合结构浸泡于掺杂水溶液中；S7、将S6中浸泡后的复合结构清洗烘干。采用该大面积CVD石墨烯掺杂转移方法，能够实现对石墨烯层高效且均匀稳定的掺杂；在转移过程中提供有效的支撑保护，避免石墨烯膜破损，保障大面积CVD石墨烯层的转移完整性。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 石墨烯层 石墨烯 复合结构 吸收层 掺杂剂 支撑层 衬底 催化 浸泡 破损 清洗烘干 石墨烯膜 效果稳定 支撑保护 目标基 保证 | ||
【主权项】：
1.大面积CVD石墨烯掺杂转移方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1.在催化衬底(101)上生成通过化学键链接的具有二维连续结构的CVD石墨烯层(201)，得到催化衬底(101)、CVD石墨烯层(201)的复合结构；/nS2.在步骤S1所述CVD石墨烯层(201)上形成掺杂剂吸收层(301)，得到催化衬底(101)、CVD石墨烯层(201)、掺杂剂吸收层(301)的复合结构；/nS3.在步骤S2所述掺杂剂吸收层(301)上形成转移支撑层(302)，得到催化衬底(101)、CVD石墨烯层(201)、掺杂剂吸收层(301)、转移支撑层(302)的复合结构；/nS4.分离催化衬底(101)，得到CVD石墨烯层(201)、掺杂剂吸收层(301)、转移支撑层(302)的复合结构；/nS5.将步骤S4得到的CVD石墨烯层(201)、掺杂剂吸收层(301)、转移支撑层(302)的复合结构旋转180°放置到目标基底(401)上，得到CVD石墨烯层(201)、掺杂剂吸收层(301)、转移支撑层(302)、目标基底(401)的复合结构；/nS6.将步骤S5得到CVD石墨烯层(201)、掺杂剂吸收层(301)、转移支撑层(302)、目标基底(401)的复合结构浸泡于掺杂剂水溶液中；/nS7.将经过步骤S6处理过的CVD石墨烯层(201)、掺杂剂吸收层(301)、转移支撑层(302)、目标基底(401)的复合结构清洗吹干；/n所述步骤S2中的掺杂剂吸收层(301)为有机聚合物层，所述掺杂剂吸收层(301)包括亲水性侧基或亲水主链结构，使得有机层本身能够被水溶胀；所述亲水性侧基包括羟基、羧基、酰胺基、酰马琳基；所述亲水主链为聚环氧乙烷；/n步骤S3中所述转移支撑层(302)材料是主链具有疏水芳环结构的聚合物，所述聚合物为聚对二甲苯、聚3-氯对二甲苯、聚2，5-二氯对二甲苯或聚氟代对二甲苯或者它们任意2-4种的共聚物。/n
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