[发明专利]一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 201711462422.0 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108284054B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 姜雪娇;刘梦伟;王文;师芳芳;宫俊杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器及其制备方法，该制备方法包括：将压电陶瓷衬底切割成多个换能器阵元，形成换能器阵列；所述换能器阵元的宽度和间隔为20‑100μm，切割深度为50‑300μm；在换能器阵列一侧进行切割，获得底电极共面电连接槽；底电极共面电连接槽宽度为20‑300μm；在换能器阵元之间灌胶，在底电极共面电连接槽内灌导电胶；制备底电极；与底电极相对的压电陶瓷面进行厚度减薄处理，使压电陶瓷厚度降低为50‑200μm；制备上电极及底电极连接面；将换能器阵列分割，形成多个单个超声线性相控阵列换能器；对换能器引线键合；封装，灌注匹配层。本发明提供的换能器检测分辨率高、探测深度大，可用于微尺度特征结构的超声检测。 | ||
| 搜索关键词： | 底电极 制备 换能器阵列 换能器阵元 线性相控阵 电连接槽 压电陶瓷 换能器 压电陶瓷超声 切割 换能器检测 超声检测 厚度减薄 厚度降低 特征结构 引线键合 导电胶 连接面 匹配层 微尺度 电极 分辨率 超声 衬底 对换 灌胶 可用 封装 灌注 探测 分割 | ||
【主权项】：
1.一种压电陶瓷超声线性相控阵列换能器的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：S10，将压电陶瓷衬底切割成多个换能器阵元，形成换能器阵列；所述换能器阵元的宽度和间隔为20‑100μm，切割厚度为50‑300μm；S20，在所述换能器阵列一侧进行切割，获得底电极共面电连接槽；所述底电极共面电连接槽宽度为20‑300μm；S30，在所述换能器阵元之间灌胶，在所述底电极共面电连接槽内灌导电胶；S40、制备底电极；S50、对与底电极相对的压电陶瓷面进行厚度减薄处理，使压电陶瓷厚度降低为50‑200μm；S60、制备上电极及底电极连接面；S70、将换能器阵列分割，形成多个单个超声线性相控阵列换能器；S80、对换能器引线键合；S90、将分离的单个超声线性相控阵列换能器进行封装，然后灌注匹配层，形成所需的压电陶瓷超声线性相控阵列换能器。
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