[发明专利]研磨液分配臂及其化学机械研磨方法在审
| 申请号： | 201711462027.2 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108145610A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 蒋德念;张弢;邢杰 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B1/00;B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨液分配臂，向研磨盘提供研磨液和清洗液，研磨液分配臂内设有研磨液输送管道，所述研磨液分配臂的一端设有与研磨液输送管道相连的研磨液输送管头，所述研磨液分配臂中还设有一具有多个喷嘴的清洗液输送管道，所述清洗液经由多个所述喷嘴沿所述研磨盘旋转方向的反向倾斜向下喷射到所述研磨盘上。本发明还公开了一种化学机械研磨方法，包括：提供晶圆；向所述晶圆表面上输送研磨液，并进行研磨；逆向倾斜向下冲洗所述晶圆。本发明把传统的垂直喷水冲洗改为逆向倾斜冲洗，有效地提高了化学机械研磨时的清洗能力，减少了化学机械研磨工艺的时间，提高了产能且减少了后续产品缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨液 分配臂 化学机械研磨 研磨液输送 冲洗 喷嘴 研磨 清洗液 研磨盘 晶圆 化学机械研磨工艺 清洗液输送管道 反向倾斜 后续产品 晶圆表面 倾斜向下 清洗能力 向下喷射 传统的 有效地 转方向 产能 管头 盘旋 垂直 | ||
【主权项】：
一种研磨液分配臂，其特征在于，所述研磨液分配臂向研磨盘提供研磨液和清洗液，研磨液分配臂内设有研磨液输送管道，所述研磨液分配臂的一端设有与研磨液输送管道相连的研磨液输送管头，所述研磨液分配臂中还设有一具有多个喷嘴的清洗液输送管道，所述清洗液经由多个所述喷嘴沿所述研磨盘旋转方向的反向倾斜向下喷射到所述研磨盘上。
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