[发明专利]研磨液分配臂及其化学机械研磨方法在审
| 申请号： | 201711462027.2 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108145610A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 蒋德念;张弢;邢杰 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B1/00;B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨液 分配臂 化学机械研磨 研磨液输送 冲洗 喷嘴 研磨 清洗液 研磨盘 晶圆 化学机械研磨工艺 清洗液输送管道 反向倾斜 后续产品 晶圆表面 倾斜向下 清洗能力 向下喷射 传统的 有效地 转方向 产能 管头 盘旋 垂直 | ||
1.一种研磨液分配臂，其特征在于，所述研磨液分配臂向研磨盘提供研磨液和清洗液，研磨液分配臂内设有研磨液输送管道，所述研磨液分配臂的一端设有与研磨液输送管道相连的研磨液输送管头，所述研磨液分配臂中还设有一具有多个喷嘴的清洗液输送管道，所述清洗液经由多个所述喷嘴沿所述研磨盘旋转方向的反向倾斜向下喷射到所述研磨盘上。
2.如权利要求1所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述清洗液经由多个所述喷嘴沿所述研磨盘旋转方向的反向倾斜20-70度角向下喷射到所述研磨盘上。
3.如权利要求1或2所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述研磨液输送管头上设有多个研磨液喷射口。
4.如权利要求3所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述研磨液输送管道为塑料材质输送管道。
5.如权利要求1所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述多个喷嘴均匀分布在所述研磨液分配臂的底部。
6.如权利要求1或5所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述多个喷嘴位于所述研磨盘的盘面上方10-20mm处。
7.如权利要求1或5所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述研磨液分配臂还包括设置在所述喷嘴上方的挡板。
8.如权利要求1或5所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述清洗液输送管道的管径为4-5英分。
9.如权利要求1所述的研磨液分配臂，其特征在于，所述研磨液分配臂的另一端与一驱动装置相连，所述驱动装置带动所述研磨液分配臂转动。
10.一种化学机械研磨方法，其特征在于，包括：
提供晶圆；
向所述晶圆表面上输送研磨液，并进行研磨；
逆向倾斜向下冲洗所述晶圆。
11.如权利要求10所述的化学机械研磨方法，其特征在于，所述方法还包括：停止输送研磨液，继续研磨以去除所述晶圆上的缺陷及剩余研磨液。
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